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姚劲松

作品数：17 被引量：33H指数：3
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家攀登计划国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程电气工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇期刊文章
  • 3篇专利
  • 2篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 4篇机械工程
  • 4篇电气工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 5篇电机
  • 4篇电磁
  • 4篇微电机
  • 4篇微电子
  • 4篇刻蚀
  • 3篇电磁微电机
  • 3篇掩膜
  • 3篇射线
  • 3篇光刻
  • 3篇LIGA
  • 2篇电铸
  • 2篇湿法
  • 2篇准分子
  • 2篇准分子激光
  • 2篇微电子机械
  • 2篇微电子机械系...
  • 2篇微机电系统
  • 2篇微机械
  • 2篇微马达
  • 2篇微型机械

机构

  • 17篇中国科学院长...
  • 2篇中国科学院长...
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇长春煤炭科技...

作者

  • 17篇姚劲松
  • 15篇梁静秋
  • 4篇王立鼎
  • 3篇贾智
  • 2篇范希武
  • 2篇王志勤
  • 2篇金长春
  • 2篇宣明
  • 2篇王维彪
  • 2篇王永珍
  • 1篇乐孜纯
  • 1篇叶露
  • 1篇曹健林
  • 1篇王润文
  • 1篇路敦武
  • 1篇沈蓓军
  • 1篇邢红梅
  • 1篇殷秀华

传媒

  • 5篇光学精密工程
  • 2篇发光学报
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇北京同步辐射...
  • 1篇中国仪器仪表...
  • 1篇第五届全国敏...

年份

  • 1篇2000
  • 8篇1999
  • 4篇1998
  • 2篇1997
  • 1篇1995
  • 1篇1993
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究被引量：10
1999年
准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景，用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高，并且工艺简单。我们分析了准分子激光刻蚀原理，探索了这种技术的工艺方法和技术条件，特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深入的研究。本文采用简易的实验装置，用自行研制的三种结构掩膜进行了准分子激光刻蚀实验，得到了５０μｍ 深的聚合物材料微机械构件。
梁静秋姚劲松
关键词：准分子激光微机械激光刻蚀
端面摇摆微马达
本实用新型属于微机电系统(MSMS)，涉及到一种微执行器中的微马达。目的在于提供一种体积小、效率高、输出力矩大，输出转速低的微马达。本实用新型利用定子的线圈所产生的法向电磁力工作，充分利用了马达的有限径向空间，提高了线圈...
梁静秋姚劲松
文献传递
X射线Bragg-Fresnel元件中衍射图形制作技术研究被引量：3
1998年
本文研究Ｘ射线Ｂｒａｇｇ－Ｆｒｅｓｎｅｌ元件中衍射图形的制作技术。介绍了衍射图形制作技术方案的确定，金属吸收层厚度的计算，制作技术工艺流程及衍射图形测试结果。
乐孜纯梁静秋姚劲松李春叶露曹健林邢红梅
关键词：X射线
LIGA工艺探讨
1993年
本文叙述了适用于微型机械制造的一种新的工艺—LIGA工艺的技术组成。着重介绍了LIGA工艺中X射线光刻掩模的制作步骤和方法。
王志勤姚劲松宣明王一凡
关键词：X射线掩模微型机械
干法刻蚀和湿法刻蚀制备硅微尖的比较被引量：4
1998年
主要研究了用干法刻蚀和各向同性湿法刻蚀的方法在〈１００〉晶面和〈１１１〉晶面的单晶硅衬底上制备硅微尖．结果表明干法刻蚀和〈１１１〉晶面的硅衬底各向同性湿法腐蚀容易制备出顶端曲率半径比较小的硅微尖，通过实验。
王维彪金长春赵海峰王永珍殷秀华范希武梁静秋姚劲松
关键词：干法刻蚀湿法微电子器件
端面摇摆式微型电磁电机工作原理及运动学分析被引量：1
1999年
介绍了一种新型结构原理的电磁式微电机及其特点，并对电机的转速比进行了理论分析。通过对Ф５ｍ ｍ 的试验样机进行初步实验研究，验证了本文提出的设计思想。
贾智王立鼎梁静秋姚劲松
关键词：微电子机械系统电磁微电机运动学
端面摇摆式微型电机研究被引量：3
1999年
提出了一种低速大力矩的微型电磁电机———端面摇摆式微型电磁电机。其工作原理为：在旋转电磁力的作用下，电机锥形转子在定子的内锥面上作纯滚动，从而产生输出轴的转动。我们采用精密机械的精细加工技术制作了外径为Φ５ ｍ ｍ 电机样机。经测试，其转速范围为２０ － ８６０ｒ／ ｍｉｎ ，扭矩输出大于１０μ Ｎｍ 。实验结果表明，这种微型电机在相同的输入功率下，比同体积的其他电机有更大的力矩输出，因此具有广泛的应用前景。
梁静秋姚劲松
端面摇摆式电磁微电机的实验分析
介绍了端面摇摆式微型电磁电机的工作原理并重点对Φ5mm的实验样机的各种控制条件古的工作情况进行了初步的实验分析研究，这些结果对进一步改善此类电机具有重要的指导意义。
贾智王立鼎梁静秋姚劲松
关键词：电磁微电机微电机
用LIGA技术制作微马达构件
1998年
阐述了LIGA技术的组成及特点。对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程，并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻，得到了深度为500μm，深宽比达8．3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。给出掩膜和X射线光刻照片。同时，对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。
梁静秋姚劲松
关键词：微马达LIGA技术掩膜电铸X射线
微电机扭矩测试装置
本实用新型属于微机电系统(MEMS),涉及到对微型电机的转速及动态扭矩的测量。由于微电机的输出扭矩很小(几微牛米一几十微牛米量级),目前国内外测量方法及装置都无法满足需要。本实用新型正是为解决这一难题而设计的。它的特点是...
姚劲松梁静秋
文献传递
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