汤金春
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
- 发文基金：国防基础科研计划更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学更多>>
- 碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术被引量：5
- 2015年
- 碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功率分布为140 W与350 W,靶基距为40cm,基片摆动角度为±30°时,中心2英寸区域膜层非均匀性达到±3%以内,同时钝化膜层表面粗糙度与附着能力获得了较大改善。
- 韩福忠耿松史琪袁授章杨伟声蒋俊汤金春
- 关键词：碲镉汞红外探测器表面钝化
- 短波CMT红外光导探测器延伸电极的改进
- 2009年
- 针对短波CMT红外光导探测器出现的拖尾问题,找到其拖尾的原因:过渡电极的功函数过大。为此,在原来Cr/Au电极的基础上,提出了In/Au+Cr/Au电极初步解决了拖尾问题,但是在工艺上出现了In聚球现象,影响器件的稳定性。又提出Ti/Au电极,比较好的解决了拖尾问题和In/Au+Cr/Au电极带来的工艺问题。
- 史琪王向前汤金春铁筱滢
- 关键词：功函数
- 一种抗高温氧化的读出电路引出电极及其制备方法
- 本发明涉及热释电混合式非制冷焦平面探测器的读出电路引出电极及其制备方法，具体涉及一种可以具有抗高温氧化特性的引出电极，阻止读出电路的Al引出电极在高温工艺中的热扩散和氧化。读出电路引出电极为复合结构，本发明在硅工厂加工完...
- 杨春丽胡旭姬荣斌韩福忠李京辉吴思晋汤金春张敏王冰
- 一种抗高温氧化的读出电路引出电极及其制备方法
- 本发明涉及热释电混合式非制冷焦平面探测器的读出电路引出电极及其制备方法，具体涉及一种可以具有抗高温氧化特性的引出电极，阻止读出电路的Al引出电极在高温工艺中的热扩散和氧化。读出电路引出电极为复合结构，本发明在硅工厂加工完...
- 杨春丽胡旭姬荣斌韩福忠李京辉吴思晋汤金春张敏王冰
- 文献传递
