韩福忠 作品数:59 被引量:88 H指数:6 供职机构: 昆明物理研究所 更多>> 发文基金: 国家重点基础研究发展计划 国防基础科研计划 国家科技重大专项 更多>> 相关领域: 电子电信 一般工业技术 理学 自动化与计算机技术 更多>>
碲镉汞红外焦平面器件表面复合膜层钝化技术 被引量:5 2015年 碲镉汞(Hg1-xCdxTe)红外器件的制备过程中,表面钝化工艺对于器件性能具有很大影响。通过实验,研究了溅射功率、靶基距、基片摆动角度等工艺参数对碲镉汞衬底上制备的CdTe/ZnS复合钝化膜层质量的影响。实验结果表明,当CdTe与ZnS溅射靶功率分布为140 W与350 W,靶基距为40cm,基片摆动角度为±30°时,中心2英寸区域膜层非均匀性达到±3%以内,同时钝化膜层表面粗糙度与附着能力获得了较大改善。 韩福忠 耿松 史琪 袁授章 杨伟声 蒋俊 汤金春关键词:碲镉汞 红外探测器 表面钝化 中波碲镉汞/钝化层界面电学特性研究 被引量:3 2015年 HgCdTe表面/界面特性对器件性能具有重要的影响,表面/界面的状态主要依赖于表面处理和钝化工艺。采用Br2/CH3OH腐蚀液对液相外延(LPE)生长的中波HgCdTe薄膜进行表面处理后,使用Cd Te/Zn S复合钝化技术进行表面钝化,制备了相应的MIS器件并进行器件C-V测试。结果表明,HgCdTe/钝化层界面固定电荷极性为正,面密度为2.1×1011 cm-2,最低快界面态密度为1.43×1011 cm-2·e V-1,在10 V栅压极值下慢界面态密度为4.75×1011 cm-2,较低的快界面态密度体现出了CdTe/ZnS复合钝化技术的优越性。 李雄军 韩福忠 李东升 李立华 胡彦博 孔金丞 朱颖峰 庄继胜 姬荣斌关键词:表面钝化 MIS器件 C-V 半导体型硫掺杂石墨烯薄膜制备方法 半导体型硫掺杂石墨烯薄膜制备方法,涉及半导体型硫掺杂石墨烯薄膜的制备方法,尤其是使用廉价的乙二醇和硫酸为原料,使用工艺简单的液相化学反应法制成溶液然后旋涂再高温退火处理得到光电性能良好的半导体型硫掺杂石墨烯薄膜制备方法。... 唐利斌 姬荣斌 项金钟 张倩 袁绶章 赵俊 孔金丞 郑云 魏虹 洪建堂 铁筱滢 左大凡 康蓉 王向前 王燕 韩福忠CdTe钝化膜溅射功率对HgCdTe器件性能的影响研究 被引量:1 2018年 采用不同的溅射功率在长波HgCdTe(碲镉汞)薄膜表面沉积了CdTe钝化膜,制备了相应的MIS器件和二极管器件,并对器件进行了I-V测试和C-V测试,研究了溅射功率对CdTe钝化膜和器件性能的影响。结果表明,CdTe钝化膜溅射功率由140 W升高到180 W后,沉积速率显著增加,由3.5 nm/min增加到了9.5 nm/min;HgCdTe/钝化层界面固定电荷面密度增大,由2.43×10^(11) cm^(—2)增大到了2.83×10^(11) cm^(—2);慢界面态密度也随溅射功率的增加而增大。 林占文 韩福忠 李雄军 耿松 史琪 胡彦博 杨超伟 林阳关键词:溅射功率 I-V C-V 一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元 本发明公开了一种非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元,旨在提供一种测量分辨率高、灵敏度高的非制冷红外焦平面探测器的光电敏感单元。它包括由半透明金属层、有机介质层及反射金属层叠置构成的谐振腔,以及固定设置于谐振腔下方用于实... 胡旭 杨春丽 雷晓红 魏虹 王冰 韩福忠 秦强 吴思晋一种飞秒激光网格化铁电陶瓷方法 本发明涉及一种飞秒激光网格化铁电陶瓷方法,属于微细加工技术领域。本发明飞秒激光网格化铁电陶瓷方法,是用光刻、金属沉积、刻蚀的方法在铁电陶瓷上制备网格化的金属图案,飞秒激光刻蚀根据预先制备的网格化金属图案进行网格加工,实现... 杨春丽 胡旭 姬荣斌 韩福忠 封远庆 吴思晋 雷晓虹 魏虹 李冉文献传递 中波碲镉汞光电二极管pn结特性研究 被引量:1 2015年 采用液相外延(LPE)生长的中波Hg Cd Te薄膜,基于B离子注入n-on-p平面结技术,制备了LBIC测试结构和I-V测试芯片并进行了相应的测试和分析。LBIC测试结果表明,Hg Cd Te pn结实际结区尺寸扩展4~5μm,这主要与光刻、B离子注入以及注入后低温退火等器件工艺有关。二极管器件C-V和I-V特性研究表明,所制备的Hg Cd Te pn结不是突变结也不是线性缓变结。中波Hg Cd Te二极管器件最高动态阻抗大于30 GΩ,器件优值R0A高达1.21×10^5Ωcm^2,表现出较好的器件性能。 李雄军 韩福忠 李东升 李立华 胡彦博 孔金丞 秦强 朱颖峰 庄继胜 姬荣斌关键词:光电二极管 PN结 LBIC 一种铟凸点器件结构及其制备方法 本发明涉及一种铟凸点器件结构及其制备方法,属于铟凸点器件制备技术领域。该器件结构包含半导体衬底、焊盘、第一钝化层、第二钝化层、UBM金属层和铟凸点;UBM金属层包括粘附层、阻挡层、缓冲层和浸润层;在该器件结构中,粘附层覆... 杨超伟 李京辉 韩福忠 王琼芳 封远庆 左大凡 杨毕春 周连军 吴圣娟文献传递 中波碲镉汞雪崩光电二极管的增益特性 被引量:7 2019年 采用不同工艺制备了中波碲镉汞(Hg Cd Te)雪崩二极管(APD)器件,利用不同方法对其结特性和增益随偏压变化关系进行了表征,并基于Beck模型和肖克莱解析式进行了拟合分析.结果表明,不同工艺制备的APD器件饱和耗尽区宽度分别为1. 2μm和2. 5μm,较宽的耗尽层有效抑制了高反偏下器件的隧道电流,器件有效增益则从近100提高至1 000以上.用肖克莱解析式拟合Hg Cd Te APD器件增益-偏压曲线,获得了较好的效果.拟合结果与Sofradir公司的J. Rothman的报道相似. 李雄军 韩福忠 李立华 李东升 胡彦博 杨登泉 杨超伟 孔金丞 舒恂 庄继胜 赵俊关键词:雪崩光电二极管 增益 C-V 氟掺杂石墨烯量子点及其制备方法 本发明涉及光电子领域,尤其是氟掺杂石墨烯量子点及其制备方法。氟掺杂石墨烯量子点是一种新的石墨烯量子点改性材料,通过掺杂的方式,增加了石墨烯量子点额外的能级,有效地改变了石墨烯量子点的性能,可用于光电探测器领域。本制备方法... 唐利斌 姬荣斌 项金钟 左文彬 赵俊 胡赞东 韩福忠