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李伟奇
作品数:
17
被引量:6
H指数:1
供职机构:
华中科技大学
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发文基金:
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
机械工程
一般工业技术
理学
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合作作者
张传维
华中科技大学
刘世元
华中科技大学
陈修国
华中科技大学
杜卫超
华中科技大学
谷洪刚
华中科技大学
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一般工业技术
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理学
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2篇
紫外波段
机构
17篇
华中科技大学
作者
17篇
李伟奇
16篇
刘世元
16篇
张传维
14篇
陈修国
8篇
杜卫超
6篇
谷洪刚
4篇
李苏斌
年份
4篇
2016
6篇
2015
7篇
2013
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17
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一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过...
刘世元
李伟奇
张传维
陈修国
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椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数,然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点,建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型,最后根据传递...
刘世元
谷洪刚
陈修国
张传维
李伟奇
杜卫超
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元
谷洪刚
陈修国
张传维
李伟奇
杜卫超
文献传递
一种四分之一双波片相位延迟器
本发明公开了一种四分之一双波片相位延迟器,可在紫外、可见及近红外的波段范围内实现消色差,其特征在于,该双波片相位延迟器由两个同种材料或者不同材料的四分之一零级波片构成,该两零级波片沿光轴平行布置,且两光轴夹角为45°,其...
刘世元
谷洪刚
张传维
陈修国
李伟奇
杜卫超
一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及其方法
本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准,包括前光路和后光路的对准;在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮,使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束;微调样品台上的旋...
刘世元
李苏斌
陈修国
李伟奇
张传维
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元
谷洪刚
陈修国
张传维
李伟奇
杜卫超
文献传递
一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过...
刘世元
李伟奇
张传维
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一种光谱椭偏仪中氙灯光源的光强平滑处理装置及方法
本发明公开了一种应用到光谱椭偏仪中的氙灯光线光强平滑处理装置及方法。该光强平滑处理装置包括准直透镜、汇聚透镜和光阑,准直透镜为消色差透镜,用于将待处理的氙灯光线准直为平行光束;汇聚透镜为单透镜,用于将平行光束汇聚聚焦,汇...
刘世元
李伟奇
张传维
陈修国
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一种用于广义椭偏仪的光强自动调整装置及其控制方法
本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下,根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是...
刘世元
李苏斌
李伟奇
张传维
杜卫超
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旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法
本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法,该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数,其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件,使用待校准光谱椭偏仪进行测量,对测量获得的光强谐...
刘世元
李伟奇
张传维
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