黄成军
- 作品数：6 被引量：32H指数：2
- 供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院电子科学与技术系更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学生物学电子电信化学工程更多>>
- 一种基于MEMS技术的PDMS微型分流器的研制被引量：1
- 2007年
- 本文采用三层光刻工艺制作了基于聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)的V形微分流器。引入牺牲层技术,解决了不同胶层间的界面互融问题,讨论了不同胶层间显影液对图形质量的影响。所制得的分流器工艺简单,结构形貌良好,具有良好的微流控制作用,满足器件使用要求。
- 黄成军杨承李建军于军
- 关键词：微流控分流器牺牲层技术
- 微电铸技术及其工艺优化进展研究被引量：19
- 2006年
- 随着微机电系统(MEMS)和微影微电铸微模铸(LIGA)两种技术的发展,微电铸工艺正逐渐展现着其独特的魅力和发展潜力。然而,现有工艺中存在的缺陷也严重阻碍了其进一步发展。因此,对微电铸工艺进行深入研究,突破其工艺瓶颈,将对微加工工艺的应用和推广起着重要作用。着眼于目前微电铸工艺中存在的不足,从工艺缺陷的理论形成机理出发,总结了近期微电铸领域在工艺缺陷的改进方面所做出的努力及成果,并对微电铸工艺未来的发展趋势提出了一些看法。
- 李冠男黄成军罗磊郭旻于中尧于军
- 关键词：微机电系统
- 主动式生物芯片技术被引量：6
- 2003年
- 生物芯片是近十年来发展起来的一项新技术,其实质是一种微型化的生化分析仪器,可分为被动式和主动式两大类。主动式芯片技术是指在芯片的构建和生化反应中直接引入外力或场的作用,它具有快速、高效、自动化的特点,是构建芯片实验室、实现过程集成化的基本部件。主动式芯片技术已成为生物芯片技术研究的重点。文章介绍了几种典型的主动式生物芯片的原理、应用及其研究情况。
- 张旭杨承黄成军朱疆高俊雄于军
- 关键词：生物芯片主动式芯片实验室微细加工技术
- 基于介电电泳原理的生物芯片的构建及其在细胞分析中的应用研究
- 生物芯片技术由于具有分析快速/样品用量少/灵敏度高/易于集成和自动化等优点，自问世以来，就得到了人们的普遍关注。介电电泳芯片（Dielectrophoresis Chip, DEP Chip）技术作为一种重要的生物芯片技...
- 黄成军
- 关键词：生物芯片微机电系统细胞分离
- 高通量电旋转阵列芯片的构建及其在测定Jurkat细胞介电性中的应用被引量：2
- 2007年
- 本文对基于微电极的电旋转电场进行了理论计算。提出了一种先加定位电场,后加旋转电场的实验方法。并根据计算结果构建了一种高通量电旋转阵列芯片及盖片系统。应用该系统,测定了Jurkat细胞的有关介电特性。
- 黄成军于军郭旻程京
- 关键词：旋转电场介电特性
- 毛细管电泳芯片制备工艺研究被引量：2
- 2004年
- 叙述了采用SU 8和PDMS制作毛细管电泳芯片的一种新工艺、新方法 ,对SU 8的四个工艺参数 :前烘温度与时间、后烘温度与时间、曝光时间以及显影时间进行了工艺优化 ,结果表明使用该方法加工工艺简单 ,芯片重复性好 ,成本低 ,适用于采用激光诱导荧光检测法进行检测 。
- 杨承黄成军刘锋于军
- 关键词：毛细管电泳芯片SU-8光刻胶光刻
