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空气轴承提高气浮系统稳定性的阻尼技术被引量：9: 2010年; 静压空气轴承拥有清洁、近零摩擦等优点,是一种优秀的运动导向承载部件,但是它在承载方向上阻尼较小,对外界引起振动和空气轴承本身固有微振动的衰减较慢,影响了系统的稳定性和测量准确性.为了解决这个问题,本文以小孔节流空气轴承作为研究对象,在其结构中部增设了类似空气弹簧的上下腔室和节流孔,当空气轴承振动时,压力空气在上下腔室之间流动,通过节流孔处的节流效应将振动能量衰减掉.根据这一构想,首先对新结构通过空气弹簧理论进行了初步优化设计,接着对新结构空气轴承和普通空气轴承进行了冲击响应实验,证实了新结构能够很好地起到快速衰减振动的作用,同时对微振动有良好的抑制效果,然后通过模态分析软件MEscope得到了空气轴承的阻尼比系数,发现新结构空气轴承阻尼比系数较普通结构空气轴承阻尼比系数有近一个数量级的提高.另外,还通过实验得到新结构空气轴承可以略微增加轴承的承载能力和刚度.; 徐登峰朱煜尤政张鸣赵冶; 关键词：空气静压轴承气浮轴承微振动

一种热泳空气净化装置及方法: 一种热泳空气净化装置及方法，属于空气净化技术领域。本发明以热泳技术为原理，人工营造出稳定的温度梯度，使得在该温度场的空气中的颗粒物受到热泳力作用而改变运动轨迹，附着在低温表面上被除去。热泳空气净化装置包括壳体、热泳积尘管...; 赵彬赵冶李叶茂; 文献传递

超精密运动平台高动态性能运动部件的研究被引量：3: 2009年; 随着对超精密运动平台运动速度加速度和定位精度的不断提高,运动系统的动态性能的要求也越来越高,这不仅对控制系统提出了更高的要求,同时对其中运动部件的模态要求也提高了。针对此类平台的要求,开展通过陶瓷提高运动部件动态性能的研究。首先通过简化模型分析了陶瓷与铝合金部件的模态差异,认识到陶瓷可以大幅度提升运动部件的模态。然后通过理论模态分析和实验模态分析讨论了陶瓷构件设计的问题,并对运动系统进行了初步的高控制带宽跟踪实验。最后对这一设计、制造和装配研究过程中得到的经验进行了总结,为以后的深入研究打下了基础。; 徐登峰赵冶; 关键词：陶瓷模态超精密

双边驱动精密XY运动平台解耦控制研究被引量：5: 2010年; 针对具有非对称结构的直线电机驱动精密XY运动平台,为提高Y向双边同步运动控制性能,采用解耦补偿器和输出变换矩阵的方法获得了精密XY运动平台Y向解耦控制,并采用相对增益矩阵(RGA)定量分析了解耦性能。同时考虑到X轴位置变化,将解耦补偿器和输出变换矩阵设计成与X轴滑块位置参数相关的,从而实现参数变化解耦控制。运动平台控制仿真结果表明,该控制策略实现了两变量平动和转动的解耦控制,可以较好地完成双边同步控制。; 赵冶朱煜杨开明潘尚峰; 关键词：解耦控制

直线电机驱动H-drive精密平台运动控制研究: 高性能运动控制是集成电路（IC）制造装备的关键技术之一,高速度、高加速度和高精度运动为其显著特点。论文以三直线电机驱动H-drive精密平台为研究对象,通过对精密平台的动力学建模,分析了对象输入输出特性和X轴滑块在大行程...; 赵冶; 关键词：直线电机运动控制

一种热泳空气净化装置及方法: 一种热泳空气净化装置及方法，属于空气净化技术领域。本发明以热泳技术为原理，人工营造出稳定的温度梯度，使得在该温度场的空气中的颗粒物受到热泳力作用而改变运动轨迹，附着在低温表面上被除去。热泳空气净化装置包括壳体、热泳积尘管...; 赵彬赵冶李叶茂; 文献传递

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赵冶