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陈蓉

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学能源学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇线形
  • 1篇激光
  • 1篇激光器
  • 1篇硅材料
  • 1篇过饱和
  • 1篇ND
  • 1篇YAG
  • 1篇YAG激光器

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇陈蓉
  • 1篇陈朝
  • 1篇范宝殿
  • 1篇庞爱锁

传媒

  • 1篇激光技术

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Nd∶YAG连续激光诱导下硅中钛过饱和掺杂研究
2016年
为了在硅中掺入过饱和的过渡金属杂质,采用自行设计的线形大功率Nd∶YAG激光辐照表面溅射钛的硅片,对辐照后样品进行了俄歇电子能谱测试,利用2维热力学模型,对连续激光扫描的过程进行了热力学模拟。结果表明,硅中的钛掺杂浓度远高于钛在硅中的固溶度,钛的最高浓度在表面下方一定距离处;硅片中的最高温度并不在硅的表面,温度分布导致了钛的分布不在表面;模拟结果与实验结果吻合得较好。线形连续激光能够通过对材料表面扫描辐照的方式进行加工,实现过饱和掺杂。
范宝殿陈蓉庞爱锁陈朝
关键词：硅材料过饱和
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