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王世贤
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北京工业大学
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凌晨
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胡炎
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吕晓占
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季凌飞
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蒋毅坚
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单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法
本发明公开了单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法。本发明包括以下步骤:1.激光扫描开孔定位:软件绘制所需制绒图形(CAD绘制),皮秒激光依照图形在清洗后的硅片表面进行扫描开孔,形成微米级倒锥形孔均匀分布的绒面;2...
季凌飞
吕晓占
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