吕晓占
- 作品数：11 被引量：18H指数：1
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信理学电气工程机械工程更多>>
- 晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法
- 本发明公开了晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法。本发明包括以下步骤：1.清洗晶硅硅片；2.制备表面绒层：氩气氛围下用透镜聚焦后的激光器光源扫描硅片表面，形成具有硅微粒和微凹陷的绒层。3.制备隔离层：采用同步...
- 季凌飞吕晓占吴燕李秋瑞蒋毅坚
- 文献传递
- 基于超快激光脉冲辐照的晶硅改性及其物理机制研究
- 信息技术是当今世界经济社会发展的重要驱动力，在信息技术的发展进程中，硅基光电器件术扮演着越来越重要的角色，为晶硅功能性表面的研究开发提供了越来越多的契机和挑战。本研究介绍了实现晶硅不同表面物理性能的超快皮秒激光脉冲辐照的...
- 季凌飞林真源吕晓占蒋毅坚
- 关键词：超快激光物理机制
- 晶硅表面亚微米结构阵列的介电微球辅助激光-化学复合成型被引量：1
- 2016年
- 介绍了一种具有高工艺可控性特征的单晶硅表面亚微米结构阵列介电微球辅助激光-化学复合成型的方法,采用这种方法可以在单晶硅表面制备具有较好周期性和均一性的三维微结构阵列。分析并总结了微球直径、刻蚀时间及激光脉冲能量密度对结构成型的影响规律,根据时域有限差分模拟法和晶硅结晶及其化学刻蚀的基础理论,分析研究了微结构的成型机制,并以样品表面反射率为例,验证了利用不同工艺所制备出的微米结构阵列对其表面光学性能的调控作用。
- 林真源季凌飞吴燕吕晓占蒋毅坚
- 关键词：激光技术准分子激光单晶硅
- 一种大面积表面增强拉曼光谱单晶硅基底的快速制备方法
- 一种大面积表面增强拉曼光谱单晶硅基底的快速制备方法，属于SERS衬底制备领域。本发明在单晶硅表面覆盖周期密排的微球阵列；采用激光扫描或辐照后去除表面残留的微球；然后浸入含有乙醇的氢氧化钠水溶液中，水浴温度70-80℃环境...
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- 文献传递
- 皮秒激光-化学复合法制备高效减反射晶硅表面微结构研究被引量：17
- 2015年
- 基于皮秒激光的“冷加工”特点,进行了用皮秒激光辐照结合快速化学腐蚀（Na OH溶液：质量分数为4%,不大于3 min,80℃水浴）调控工艺制备高效减反射晶硅表面微结构的研究,在400-1000 nm波长的宽光谱范围内,获得了微-纳双结构微孔阵列和圆顶锥形周期性阵列两种减反射表面,前者的平均反射率低于5%,后者的平均反射率低于10%。制备过程中工艺可控性强,无需掩膜和真空环境。研究了激光工艺参数和化学腐蚀参数的不同调控匹配在微结构单元形成中的作用机制,分析了所制备表面微结构的减反射机理,为太阳能电池和其他半导体器件中硅基减反射表面微结构的低成本激光可控制造提供了重要的指导。
- 吕晓占季凌飞吴燕林真源闫胤洲
- 关键词：激光技术皮秒激光
- 一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法
- 一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光‑化学制备方法，属于晶硅表面微结构制备领域。本发明首先对单晶硅进行预处理并在其表面覆盖周期密排的微球；采用248nm激光器进行辐照，单脉冲能量密度100mJ/cm<Sup>2</Sup>...
- 季凌飞林真源吴燕吕晓占闫胤洲蒋毅坚
- 文献传递
- 单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法
- 本发明公开了单晶硅倒金字塔绒面的激光化学次序可控制备方法。本发明包括以下步骤：1.激光扫描开孔定位：软件绘制所需制绒图形（CAD绘制），皮秒激光依照图形在清洗后的硅片表面进行扫描开孔，形成微米级倒锥形孔均匀分布的绒面；2...
- 季凌飞吕晓占吴燕凌晨胡炎蒋毅坚王世贤
- 文献传递
- 晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法
- 本发明公开了晶硅太阳能电池表面绒层和隔离层的激光一次成型方法。本发明包括以下步骤：1.清洗晶硅硅片；2.制备表面绒层：氩气氛围下用透镜聚焦后的激光器光源扫描硅片表面，形成具有硅微粒和微凹陷的绒层。3.制备隔离层：采用同步...
- 季凌飞吕晓占吴燕李秋瑞蒋毅坚
- 文献传递
- 皮秒激光-化学复合法制备晶硅新型功能性表面微结构的研究
- 基于皮秒激光的"冷加工"特点，结合快速化学腐蚀(腐蚀时间≤3min)，以皮秒激光-化学复合法，进行了在晶硅(单晶硅/多晶硅)表面可控制备具有一定物理功能特性的新型表面微结构的研究。获得了微纳双结构倒金...
- 季凌飞吕晓占李健林真源吴燕闫胤洲鲍勇蒋毅坚
- 一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法
- 一种单晶硅衬底亚微米金字塔结构激光-化学制备方法，属于晶硅表面微结构制备领域。本发明首先对单晶硅进行预处理并在其表面覆盖周期密排的微球；采用248nm激光器进行辐照，单脉冲能量密度100mJ/cm<Sup>2</Sup>...
- 季凌飞林真源吴燕吕晓占闫胤洲蒋毅坚
- 文献传递
