2024年8月22日
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李育峰
作品数:
4
被引量:21
H指数:2
供职机构:
苏州大学
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相关领域:
理学
电子电信
一般工业技术
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合作作者
宁兆元
苏州大学物理科学与技术学院能源...
程珊华
苏州大学物理科学与技术学院能源...
金宗明
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薛青
苏州大学分析测试中心
高伟建
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苏州大学
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1篇
1997
2篇
1996
1篇
1995
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微波ECR等离子体辅助反应蒸发沉积ITO膜
被引量:12
1995年
发展了一种新型的微波电子回旋共振等离子体(ECR)辅助反应蒸发沉积薄膜的方法,并且使用它成功地在低气压(10 ̄(-2)Pa)、低温基片(30~100℃)上,不作后处理,直接制备出了附着力强,透光率高于85%,方阻低于100Ω/□的ITO膜。
程珊华
宁兆元
薛青
金宗明
高伟建
李育峰
关键词:
ITO膜
微波
ECR等离子体
在有机玻璃基底上制备ITO透明导电膜
被引量:6
1996年
使用直流辉光和微波电子回旋共振两种等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备了透明导电ITO膜。在实验中详细地研究了氧分压对膜的透光率和方阻的影响。由于等离子体对膜料的活化和对基片表面的轰击效应.降低了沉积温度。
程珊华
李育峰
宁兆元
在低基片温度下制备的 ITO 透明导电膜的性能
被引量:2
1997年
发展了使用直流辉光放电等离子体辅助反应蒸发法在低温玻璃基片上制备ITO膜的工艺,研究了主要的工艺参数,如Sn/In配比,氧分压,基片温度等对于膜的透光率和电阻的效应。
李育峰
程珊华
宁兆元
薛青
金宗明
马廷海
关键词:
ITO膜
氧化铟锡
在塑料基底上低温沉积ITO透明导电膜
被引量:1
1996年
本文叙述了使用等离子体辅助反应蒸发法在有机玻璃基底上制备透明导电ITO膜的研究结果。成功地在室温的条件下,制备出了高透明的、满足防静电要求的产品。
程珊华
李育峰
宁兆元
关键词:
等离子体
氧化铟锡
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