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李玉洁

作品数:11 被引量:0H指数:0
供职机构:清华大学更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 11篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 5篇永磁
  • 5篇光刻
  • 5篇光刻机
  • 4篇微动台
  • 3篇大行程
  • 3篇负刚度
  • 3篇刚度
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体制造
  • 3篇并联
  • 3篇并联使用
  • 2篇导轨
  • 2篇直线导轨
  • 2篇水平力
  • 2篇微动
  • 2篇系统结构
  • 2篇零部件
  • 2篇零部件加工
  • 2篇六自由度
  • 2篇径向

机构

  • 11篇清华大学

作者

  • 11篇朱煜
  • 11篇李玉洁
  • 11篇田丽
  • 11篇张鸣
  • 9篇许岩
  • 9篇尹文生
  • 9篇张利
  • 9篇徐登峰
  • 9篇杨开明
  • 5篇汪劲松
  • 5篇马竞
  • 4篇胡金春
  • 4篇李强
  • 3篇雷忠心
  • 3篇段广洪
  • 3篇王婧
  • 2篇刘召
  • 2篇秦慧超
  • 2篇许玉洁
  • 2篇王平安

年份

  • 3篇2013
  • 3篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构,包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环;其中永磁体垂直方向磁化,且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一...
朱煜徐登峰李强张鸣尹文生杨开明李玉洁许岩田丽雷忠心张利
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一种扁平型空气隔振器
一种扁平型空气隔振器,该隔振器包括三个或四个主腔室,三个或四个附加气室。三个主腔室呈三角形布置,四个主腔室成四边形布置,附加气室并列布置在主腔室所形成的空间内。本发明与传统的双腔室空气隔振器相比,该隔振器采用带阻尼孔的附...
朱煜徐登峰黎远成闫永固李强张鸣李玉洁许岩雷忠兴张利田丽
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纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用,主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈,永磁体固定于十字支架的末端,水平力线圈和竖直...
朱煜张鸣李广汪劲松胡金春尹文生杨开明张利马竞许岩李玉洁田丽段广洪
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台,包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分,固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成,四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上,每个...
张鸣朱煜刘召许玉洁李玉洁田丽张利杨开明徐登峰秦慧超王平安尹文生胡金穆海华
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一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台
一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台,涉及半导体光刻设备。该线缆台包含一个控制装置和至少一个多关节机械手,每个硅片台对应一个多关节机械手;每个多关节机械手包含一个具有X和Y方向移动自由度的末端连杆和至少一个中间连杆...
张鸣朱煜王婧徐登峰汪劲松许岩马竞张利田丽李玉洁段广洪
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一种光刻机硅片台双台交换方法及系统
一种光刻机硅片台双台交换方法及系统,该系统含有基台、两个硅片台、两个X方向直线导轨、两个Y方向直线导轨、两个硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元;所述系统还包括两个主驱动单元,Y方向导轨在主驱动单元驱动下可实现...
朱煜张鸣徐登峰汪劲松董立立杨开明尹文生胡金春许岩马竞田丽李玉洁王婧
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一种基于负刚度原理的永磁低频单自由度隔振机构
一种基于负刚度原理的环形永磁低频隔振机构,包括上橡胶片、内环形永磁体固定心轴、上橡胶片上压环、上橡胶片外压环、外环形永磁体、下橡胶片、下橡胶片内压片、下橡胶片外压环、外环形永磁体固定套和内环形永磁体。其中内环形永磁体轴向...
朱煜徐登峰李强张鸣尹文生杨开明李玉洁许岩田丽雷忠心张利
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纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用,主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈,永磁体固定于十字支架的末端,水平力线圈和竖直...
朱煜张鸣李广汪劲松胡金春尹文生杨开明张利马竞许岩李玉洁田丽段广洪
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一种光刻机硅片台双台交换方法及系统
一种光刻机硅片台双台交换方法及系统,该系统含有基台、两个硅片台、两个X方向直线导轨、两个Y方向直线导轨、两个硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元;所述系统还包括两个主驱动单元,Y方向导轨在主驱动单元驱动下可实现...
朱煜张鸣徐登峰汪劲松董立立杨开明尹文生胡金春许岩马竞田丽李玉洁王婧
一种具有永磁重力支撑结构的微动台
一种具有永磁重力支撑结构的微动台,主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元,所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘;每个永磁重力支撑单元含有固定部分...
张鸣朱煜刘召许玉洁李玉洁田丽张利杨开明徐登峰秦慧超王平安尹文生胡金穆海华
文献传递
共2页<12>
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