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李玉洁
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清华大学
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
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张鸣
清华大学
田丽
清华大学
朱煜
清华大学
杨开明
清华大学
徐登峰
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朱煜
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李玉洁
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田丽
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张鸣
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一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构,包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环;其中永磁体垂直方向磁化,且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一...
朱煜
徐登峰
李强
张鸣
尹文生
杨开明
李玉洁
许岩
田丽
雷忠心
张利
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一种扁平型空气隔振器
一种扁平型空气隔振器,该隔振器包括三个或四个主腔室,三个或四个附加气室。三个主腔室呈三角形布置,四个主腔室成四边形布置,附加气室并列布置在主腔室所形成的空间内。本发明与传统的双腔室空气隔振器相比,该隔振器采用带阻尼孔的附...
朱煜
徐登峰
黎远成
闫永固
李强
张鸣
李玉洁
许岩
雷忠兴
张利
田丽
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纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用,主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈,永磁体固定于十字支架的末端,水平力线圈和竖直...
朱煜
张鸣
李广
汪劲松
胡金春
尹文生
杨开明
张利
马竞
许岩
李玉洁
田丽
段广洪
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台,包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分,固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成,四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上,每个...
张鸣
朱煜
刘召
许玉洁
李玉洁
田丽
张利
杨开明
徐登峰
秦慧超
王平安
尹文生
胡金
穆海华
文献传递
一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台
一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台,涉及半导体光刻设备。该线缆台包含一个控制装置和至少一个多关节机械手,每个硅片台对应一个多关节机械手;每个多关节机械手包含一个具有X和Y方向移动自由度的末端连杆和至少一个中间连杆...
张鸣
朱煜
王婧
徐登峰
汪劲松
许岩
马竞
张利
田丽
李玉洁
段广洪
文献传递
一种光刻机硅片台双台交换方法及系统
一种光刻机硅片台双台交换方法及系统,该系统含有基台、两个硅片台、两个X方向直线导轨、两个Y方向直线导轨、两个硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元;所述系统还包括两个主驱动单元,Y方向导轨在主驱动单元驱动下可实现...
朱煜
张鸣
徐登峰
汪劲松
董立立
杨开明
尹文生
胡金春
许岩
马竞
田丽
李玉洁
王婧
文献传递
一种基于负刚度原理的永磁低频单自由度隔振机构
一种基于负刚度原理的环形永磁低频隔振机构,包括上橡胶片、内环形永磁体固定心轴、上橡胶片上压环、上橡胶片外压环、外环形永磁体、下橡胶片、下橡胶片内压片、下橡胶片外压环、外环形永磁体固定套和内环形永磁体。其中内环形永磁体轴向...
朱煜
徐登峰
李强
张鸣
尹文生
杨开明
李玉洁
许岩
田丽
雷忠心
张利
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纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用,主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈,永磁体固定于十字支架的末端,水平力线圈和竖直...
朱煜
张鸣
李广
汪劲松
胡金春
尹文生
杨开明
张利
马竞
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李玉洁
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段广洪
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一种光刻机硅片台双台交换方法及系统
一种光刻机硅片台双台交换方法及系统,该系统含有基台、两个硅片台、两个X方向直线导轨、两个Y方向直线导轨、两个硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元;所述系统还包括两个主驱动单元,Y方向导轨在主驱动单元驱动下可实现...
朱煜
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一种具有永磁重力支撑结构的微动台
一种具有永磁重力支撑结构的微动台,主要用于光刻机工件台系统中。该微动台包括微动台定子、微动台动子以及至少三个永磁重力支撑单元,所述的至少三个永磁重力支撑单元绕微动台的Z轴均布在微动台边缘;每个永磁重力支撑单元含有固定部分...
张鸣
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刘召
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