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李海颖
作品数:
26
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
陈旭南
中国科学院光电技术研究所
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
石建平
安徽师范大学物理与电子信息学院
陈献忠
中国科学院光电技术研究所
姚汉民
中国科学院光电技术研究所
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作者
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李海颖
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2010
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2007
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3篇
2005
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连续面形掩模移动光刻曝光装置
连续面形掩模移动光刻曝光装置包括主机大基板、掩模移动工作台系统、均匀照明系统、掩模架、掩模、基片、对准观测系统、基片升降承片台系统、照明均匀性检测系统和控制系统,在主机大基板上分别固定有掩模移动工作台系统和照明均匀性检测...
杜春雷
陈旭南
邓启凌
罗先刚
李海颖
文献传递
中心对称材料光子晶体中SHG及因素分析
介绍用中心对称材料二次谐波产生(SHG)的基本原理,通过数值模拟计算,分析研究影响中心对称材料SHG的几个因素。指出其中光子晶体带隙(PBG)的影响最为关键,它决定了二次谐波能否产生;激励波入射角与组成结构的耦合介质柱和...
石建平
李海颖
罗先刚
陈旭南
关键词:
影响因素
文献传递
多铰链纳米压印压模倾斜校正机构
多铰链纳米压印压模倾斜校正机构,由上连接套(1)、上铰链(2)、下铰链(3)、压模(5)和压模卡盘(4)组成,上连接套(1)与上铰链(2)的铰链座连接,下铰链(3)的铰链座与上铰链(2)的上中间框连接,下铰链(3)的下中...
罗先刚
陈旭南
李海颖
胡承刚
文献传递
基于等离子波的纳米光刻光学装置
等离子波的纳米光刻光学装置,由反射镜(1)和(6)、均匀器(2)、滤光片(3)、HG灯光源(4)、椭球反射镜(5)和透镜组(7)组成的均匀照明系统照明金属掩模(8),使紧接触放置硅片(10)上的抗蚀剂涂层(9)感光,HG...
罗先刚
陈旭南
李海颖
石建平
杜春雷
文献传递
金属纳米光栅的SPR光学特性和传感应用研究
表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)是光与金属物质相互作用的一种特殊物理现象。SPR对金属微纳结构表面折射率的变化极为敏感,这一特性使得SPR生化传感技术巨大的应用潜力,引起了世...
李海颖
关键词:
表面等离子体共振
生物传感芯片
激光干涉光刻
多铰链纳米压印压模倾斜校正机构
多铰链纳米压印压模倾斜校正机构,由上连接套(1)、上铰链(2)、下铰链(3)、压模(5)和压模卡盘(4)组成,上连接套(1)与上铰链(2)的铰链座连接,下铰链(3)的铰链座与上铰链(2)的上中间框连接,下铰链(3)的下中...
罗先刚
陈旭南
李海颖
胡承刚
文献传递
深紫外投影光刻物镜
深紫外投影光刻物镜,包括外层的恒温密封外套、中间层和内层结构,中间层为镜筒,由第一镜筒和第二镜筒用连接件连接而成,内层为十个光学透镜元件及十个分隔固定光学透镜元件的透镜框组件,十个光学透镜元件组成的光学系统为双远心系统,...
陈旭南
罗先刚
余国彬
石建平
李海颖
文献传递
中心对称材料中二次谐波产生的影响因素
被引量:1
2007年
介绍中心对称材料二次谐波产生(SHG)的基本原理,通过数值模拟计算,分析研究影响中心对称材料SHG的因素。其中,光子晶体带隙(PBG)的影响最为关键,它决定了SH能否产生;激励波入射角与组成结构的耦合介质柱和填充因子对SHG强度大小也有较大影响,按文中结构,耦合介质柱有2排已足够,最佳人射角为20°~30°,填充因子为0.6。
陈旭南
石建平
罗先刚
陈献忠
李海颖
胡承刚
田宏
关键词:
影响因素
光纤变换引入中心对称材料微纳结构倍频转换率测试装置
光纤变换引入中心对称材料微纳结构倍频转换率测试装置由激光器、聚焦镜、光纤光束变换系统、对准显微镜、承载样品台、水平旋转台、多自由度调整台、倍频光滤光片、激光功率计和大平台组成,激光器射出的激光通过聚焦镜和变换光纤,由对准...
李海颖
陈旭南
文献传递
光纤变换引入中心对称材料微纳结构倍频转换效率测试装置
光纤变换引入中心对称材料微纳结构倍频转换效率测试装置由激光器、聚焦镜、光纤光束变换系统、对准显微镜、承载样品台、水平旋转台、多自由度调整台、倍频光滤光片、激光功率计和大平台组成,激光器射出的激光通过聚焦镜和变换光纤,由对...
李海颖
陈旭南
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