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李洁
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中国科学院半导体研究所
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合作作者
杨萍
中国科学院半导体研究所
张晓东
中国科学院半导体研究所
王启明
中国科学院半导体研究所
谢小兵
中国科学院半导体研究所
曾湘波
中国科学院半导体研究所
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李洁
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张晓东
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杨萍
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1篇
2013
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具有硅纳米线结构的硅薄膜太阳能电池的制备方法
一种具有硅纳米线结构的硅薄膜太阳能电池的制备方法,包括:在不锈钢衬底上,溅射掺锡氧化铟薄膜;在腔室中通入氢气,对掺锡氧化铟薄膜进行H等离子体处理;再向腔室中通入第一反应气体或第二反应气体,使不锈钢衬底与铟金属纳米颗粒之间...
谢小兵
曾湘波
杨萍
李洁
李敬彦
张晓东
王启明
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