朱宗涛
- 作品数：15 被引量：39H指数：3
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”哈尔滨市科技创新人才研究专项资金更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术核科学技术更多>>
- 工件靶台复合加速离子注入系统中的靶台偏压效应
- 2012年
- 采用PIC/MCC模型,通过数值模拟的方法研究了束线离子和靶台复合加速离子注入过程中靶台偏压大小对注入过程离子动力学行为的影响,重点考察了不同偏压作用下离子的注入能量、注入剂量、注入角度以及注入范围的变化。结果表明,靶台上施加脉冲偏压后,在束流离子的作用下空间电荷分布发生变化,束流正下方的电势线会发生凹曲,凹曲的电场同时又作用于空间中的带电粒子,影响粒子的运动;靶台偏压越高,零电势线距离靶台越远,靶台电场对离子的作用范围越大。离子的注入剂量、注入能量随着靶台偏压的增大而增大,而偏压对离子注入角度的影响并不大,大部分离子都以垂直入射的方式注入到靶台表面。另外,离子注入到靶台上的面积会因束流离子在靶台电场中飞行偏转而增大,并且偏压越大注入面积增大越明显。
- 朱宗涛巩春志汪志健田修波杨士勤Ricky Fu
- 关键词：离子注入偏压
- 一种新型复合加速离子注入动力学研究
- 2012年
- 提出了一种基于靶台(工件)二次加速的束线离子注入的新方法,基本原理是将传统束线离子注入和等离子体离子注入有效复合。采用二维Particle-in-cell(PIC)模型对这种注入方法进行了数值仿真研究。考察了靶台加负偏压情况下靶台表面空间电势、离子密度变化以及离子的运动状态的时空演化。统计分析了不同时刻离子注入剂量、注入能量和注入角度的分布规律。结果表明:靶台施加偏压对束流离子起到了很好的二次加速效果,束线离子复合加速离子注入这种新方法理论上是切实可行的。同时发现在靶台附近空间电场的作用下,离子束会发生小角度偏转,由柱状形逐渐变成"喇叭口"形,靶台表面有效注入范围扩大。靶台表面注入剂量分布呈中心区域高边缘区域低的趋势。这种新方法有助于减缓电源硬件加工的难度,增加了工艺的灵活性。
- 朱宗涛巩春志汪志健田修波杨士勤Ricky Fu
- 关键词：离子注入
- 脉冲射频/40kV高压直接耦合等离子体离子注入电源系统研制
- 2011年
- 研制的用于等离子体浸没离子注入（PIII）的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了40 kV的高压脉冲与脉冲射频交替输出。工作过程中,通过射频产生等离子体,而后施加高压脉冲获得离子注入,进而实现PIII与沉积。该电源系统的性能指标为：高压脉冲电压幅值10-40 kV,脉冲频率10-1000 Hz,射频脉冲宽度0.01-10 ms,射频与高压间隔0.1-10 ms,高压脉冲功率6 kW,射频脉冲功率1 kW。实验研究表明能够有效的实现PIII。本文将介绍该种新电源的设计思想、电路以及在内凹零部件（如管筒内壁）等离子体离子注入等方面的应用。
- 巩春志田修波朱宗涛杨士勤
- 关键词：脉冲射频高压脉冲
- 陡下降沿低功耗的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器及调制方法
- 陡下降沿低功耗的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器及调制方法，属于脉冲功率技术领域。它解决了现采用的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器输出脉冲的下降沿长的问题。它采用真空电子管作为主开关调制高压脉冲，用充电IGBT串联开...
- 田修波朱宗涛巩春志杨士勤
- 不同偏压M2高速钢电弧离子镀TiCN薄膜制备及性能研究
- 朱宗涛
- 关键词：电弧离子镀正交试验结合力
- 高功率脉冲磁控溅射技术的发展与研究被引量：27
- 2009年
- 高功率脉冲磁控溅射技术(HPPMS)作为一种溅射粒子离化率高、可以沉积致密、高性能薄膜的新技术已经在国外广泛研究,但在国内尚未见研究报道。本文介绍了近十年来HPPMS技术在电源、脉冲形式、放电行为和薄膜沉积等方面的研究进展。在HPPMS过程中,粒子随脉冲开关通过电子冲击和电荷交换电离,并按照双极扩散理论向基体附近传输,离子能量分布随工作气压的不同而呈现不同的分布特征。这些放电特征有利于获得更宽的工艺范围和优异的膜层性能,最后介绍了我们实验室在HPPMS方面的研究工作。
- 吴忠振朱宗涛巩春志田修波杨士勤李希平
- 真空镀膜中的复合电源技术
- 真空镀膜离不开先进的电源技术。真空镀膜中电源种类也不尽相同,包括蒸发电源、磁控溅射电源、阴极弧电源、偏压电源、离子注入电源、高压电源、溅射清洗电源等等。随着人们对薄膜质量和性能的不断追求,这些电源技术也不断发展。近些年复...
- 田修波巩春志朱宗涛石经纬杨士勤
- 文献传递
- 脉冲射频与40kV脉冲高压直接耦合新电源系统研制
- 研制的用于等离子体浸没离子注入的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40kV 高压脉冲电源与13.56MHz 射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的时序控制,实现了30kV 的高压脉冲与...
- 田修波巩春志朱宗涛杨士勤
- 关键词：脉冲射频高压脉冲
- 文献传递
- 陡下降沿低功耗的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器及调制方法
- 陡下降沿低功耗的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器及调制方法，属于脉冲功率技术领域。它解决了现采用的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器输出脉冲的下降沿长的问题。它采用真空电子管作为主开关调制高压脉冲，用充电IGBT串联开...
- 田修波朱宗涛巩春志杨士勤
- 文献传递
- 基于全PLC控制的高压脉冲电源
- 基于全PLC控制的高压脉冲电源，属于脉冲功率技术领域。它解决了现有高压脉冲电源的单片机控制系统抗干扰能力差及其主电路的原始体积大的问题。它由主回路和控制回路组成，用可编程逻辑控制器输出占空比一定、频率连续可调的脉冲，同步...
- 田修波朱宗涛巩春志杨士勤
- 文献传递
