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刘正

作品数：14 被引量：9H指数：2
供职机构：中南大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金青年科技基金中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇学位论文
  • 4篇期刊文章
  • 4篇专利
  • 1篇会议论文

领域

  • 5篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇冶金工程

主题

  • 6篇溅射
  • 6篇磁控
  • 5篇磁控溅射
  • 4篇阻挡层
  • 4篇扩散阻挡层
  • 4篇互连
  • 4篇N
  • 3篇铜互连
  • 2篇电解
  • 2篇电解槽
  • 2篇在线检测
  • 2篇诊断专家系统
  • 2篇专家系统
  • 2篇黏附性
  • 2篇铝电解
  • 2篇铝电解槽
  • 2篇反应磁控溅射
  • 2篇薄层
  • 2篇TA
  • 2篇钽

机构

  • 14篇中南大学

作者

  • 14篇刘正
  • 7篇李幼真
  • 5篇周继承
  • 3篇陈海波
  • 2篇陈海波
  • 2篇黄江波
  • 2篇桂卫华
  • 2篇陈晓方
  • 2篇赵保星
  • 2篇陈勇民
  • 2篇阳春华
  • 2篇秦晨
  • 1篇黄迪辉

传媒

  • 1篇材料导报
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇TFC’07...

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2012
  • 1篇2010
  • 4篇2008
  • 4篇2007
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
工程机械嵌入式PLC即时编译系统的研究与实现
编译系统是嵌入式PLC研发的关键核心环节，一个良好的编译系统的研发对整个嵌入式PLC运行性能起着决定性作用。目前市场大部分PLC编译系统都是封闭的且具有产权保护，价格昂贵。因此本文针对工程机械控制器产品研究PLC编译系统...
刘正
关键词：可编程逻辑控制器嵌入式系统编译器
文献传递
梯形图程序转换成指令表程序及其编译的方法与系统
本发明公开一种将梯形图程序转换为指令表程序，并对指令表程序编译解释执行的方法与系统，该梯形图转换方法根据梯形图编辑以及执行的特点，引入能流阶级和辅助节点，为每个图顶点设置阶级和附加一个辅助节点，根据元件所在阶级和辅助节点...
陈晓方阳春华桂卫华刘正黄江波秦晨
文献传递
本体编辑器的研究与实现
语义Web作为目前Web的一个延伸，目标是使Web上的数据具有机器可识别的语义，便于人机之间的交互与合作。然而其实现面临着语义互联、规范组织和智能聚合等理论和技术障碍。 湖南省自然科学基金项目SNAX(Sema...
刘正
关键词：语义WEB本体构建数据库本体存储
文献传递
不同氮流量比制备纳米Ta-N薄膜及其性能被引量：2
2008年
超大规模集成电路Cu互连中的核心技术之一是制备性能优异的扩散阻挡层。本文采用直流磁控反应溅射在N2/Ar气氛中制备了不同组分比的Ta-N薄膜,并原位制备了Cu/Ta-N/基底复合结构,对部分样品在N2保护下进行了快速热处理(RTA),采用台阶仪、四探针测试仪、原子力显微镜(AFM)、扫描电镜、X射线衍射(XRD)对薄膜形貌结构进行了表征。结果表明,随着N2流量比的增加,薄膜沉积速率下降,表面趋于平滑,Ta-N薄膜热稳定性能及阻挡性能随之提高,而电阻率则上升。氮流量比为0.3制备的厚度为100nm的Ta-N薄膜经600℃/5m in RTA后,仍可保持对Cu的有效阻挡;在更高温度下退火,Cu将穿过阻挡层与Si发生反应,导致阻挡层失效。
李幼真周继承陈海波黄迪辉刘正
关键词：CU互连氮分压
反应磁控溅射Ta2O5薄膜制备及其光学性质
TaO薄膜因其优良的光学性质和电学性质而受到了广泛关注。它在减反射膜,光波导管,光学干涉膜,光电转换等领域被广泛应用。与 SiO相比,TaO 薄膜具有高的介电常数(20-26),很好的化学稳定性和热稳定性,与传统半导体工...
周继承罗迪恬李幼真刘正
关键词：直流反应磁控溅射光学性质
文献传递
集成电路铜互连中钽硅氮扩散阻挡层的制备及其阻挡特性研究
随着集成电路集成度的提高以及特征尺寸的不断下降，传统的Al金属化布线已经不能满足器件发展要求。Cu由于具有低电阻率和高抗电迁移能力可作为Al的替代材料。但Cu与介质层的粘附性差，且铜易扩散进入硅与二氧化硅成为深能级杂质，...
刘正
关键词：集成电路铜互连扩散阻挡层
文献传递
用于铜互连的Ta－Al－N扩散阻挡层薄膜及其制备工艺
本发明公开了一种用于铜互连的Ta－Al－N扩散阻挡层薄膜，其特征在于，其质量百分比为1.5％～7.8％的Al、8.4％～11.5％的N和余量为Ta，用多靶磁控溅射方法制备而成。本发明还公开了一种制备该Ta－Al－N扩散阻...
周继承李幼真赵保星陈海波刘正陈勇民
文献传递
真空镀膜实验中掺Al对Ta-N薄膜性能的影响
2012年
采用磁控反应共溅射法制备了Ta-Al-N纳米薄膜及Cu/Ta-Al-N/Si结构,并在氮气保护下对薄膜进行了快速热处理,用四探针电阻测试仪、台阶仪、原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜等对薄膜进行了表征。研究表明,少量Al的掺入可降低薄膜的表面粗糙度,有效提高其热稳定性和Cu扩散阻挡能力,但同时也增大了薄膜的电阻率。Al原子分数为1.7%、厚约100nm的Ta-Al-N薄膜在800℃热处理5min后仍可保持稳定和对Cu扩散的有效阻挡,其作用机制与Al填充堵塞晶界及提高薄膜的晶化温度有关。
李幼真陈海波刘正
关键词：磁控溅射热稳定性
铝电解槽糟壳温度在线检测与槽况诊断专家系统的研究与应用
铝电解槽是炼铝的主要设备，其能耗巨大，吨铝直流电耗在13000kWh以上，因此如何降低其能耗是一个很有意义的研究课题。本论文建立了槽壳温度在线检测系统，采集到了槽壳温度值，研究了槽壳温度与槽膛内形之间的关系，设计了槽况诊...
刘正
关键词：铝电解槽温度检测
文献传递
尾矿库分层指标安全评估和预警方法与系统
本发明公开了一种尾矿库分层指标安全评估和预警方法与系统，方法包括以下步骤：建立三级安全指标体系，包括堆存系统、排洪系统、风险系统、管理系统四个二级指标，库水位、降雨量等十五个三级指标；建立尾矿库安全评估模型，利用所述安全...
陈晓方阳春华桂卫华刘正黄江波秦晨
文献传递
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