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孙阔

作品数:13 被引量:1H指数:1
供职机构:天津理工大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 11篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 10篇溅射
  • 8篇存储器
  • 7篇叠层
  • 7篇叠层结构
  • 7篇层结构
  • 6篇射频溅射
  • 5篇氧化钒薄膜
  • 5篇氧化铪
  • 5篇离子束
  • 5篇离子束溅射
  • 4篇低功耗
  • 4篇氧化钒
  • 4篇功耗
  • 3篇单极性
  • 2篇氧化铝
  • 2篇氧化锌
  • 2篇蒸发工艺
  • 2篇酸盐
  • 2篇抛光
  • 2篇抛光速率

机构

  • 13篇天津理工大学
  • 1篇日本香川大学

作者

  • 13篇孙阔
  • 11篇王芳
  • 11篇张楷亮
  • 8篇陆涛
  • 7篇赵金石
  • 7篇王宝林
  • 6篇孙文翔
  • 5篇冯玉林
  • 2篇任君
  • 2篇胡曦文
  • 2篇武长强
  • 2篇王雨晨
  • 2篇刘凯
  • 2篇韦晓莹
  • 1篇程文可
  • 1篇郭书祥
  • 1篇关雪
  • 1篇郭健
  • 1篇李鑫

传媒

  • 1篇应用科技

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 4篇2014
  • 5篇2013
13 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种化学机械抛光用纳米抛光液
本发明涉及一种化学机械抛光用纳米抛光液。该纳米抛光液包括含氟硼酸盐、纳米研磨料、表面活性剂、无机酸和溶剂去离子水。该纳米抛光液具有稳定性好、易清洗、损伤小、不腐蚀设备等优点。本抛光液适用于半导体领域铪基材料的化学机械抛光...
张楷亮冯玉林王芳任君孙阔
文献传递
基于氧化钒/氧化锌叠层结构的阻变存储器及其制备方法
一种基于氧化钒/氧化锌叠层结构的阻变存储器,由下电极、阻变层和上电极构成,阻变层为由氧化钒介质层和氧化锌介质层组成的叠层结构,氧化钒介质层和氧化锌介质层薄膜采用直流溅射或射频溅射法制备。本发明的优点是:该阻变存储器采用氧...
张楷亮孙阔王芳陆涛刘凯武长强赵金石
文献传递
基于氧化钒/氧化锌叠层结构的阻变存储器及其制备方法
一种基于氧化钒/氧化锌叠层结构的阻变存储器,由下电极、阻变层和上电极构成,阻变层为由氧化钒介质层和氧化锌介质层组成的叠层结构,氧化钒介质层和氧化锌介质层薄膜采用直流溅射或射频溅射法制备。本发明的优点是:该阻变存储器采用氧...
张楷亮孙阔王芳陆涛刘凯武长强赵金石
一种化学机械抛光用纳米抛光液
本发明涉及一种化学机械抛光用纳米抛光液。该纳米抛光液包括含氟硼酸盐、纳米研磨料、表面活性剂、、无机酸和溶剂去离子水。该纳米抛光液具有稳定性好、易清洗、损伤小、不腐蚀设备等优点。本抛光液适用于半导体领域铪基材料的化学机械抛...
张楷亮冯玉林王芳任君孙阔
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仿生球形两栖机器人多机协同控制系统设计被引量:1
2017年
为了实现球形两栖机器人的多机协同控制系统,利用无线控制的方式,实现上位机对多台机器人的编队控制及远程控制,从而对球形两栖机器人进行组队完成作业规划并统一控制。通过对通信控制协议的编写,拟建立XBee通信模块与单片机之间的系统连接,并且XBee模块之间也可以进行通信,编写串口通信协议,通过上位机对多个球形两栖机器人进行一对多的多机协同控制。上位机采用图形化的编程软件LabVIEW给无线通信模块XBee的发射端发送控制信号,对下位机上装有XBee模块接收端的多机器人进行协同控制。实验证明,本文设计的多机协同控制系统能对多个机器人进行协同控制,实现不同机器人完成不同任务并协同工作的要求。
李一顺郭健李鑫孙阔程静周思培杨旭曦郭书祥
关键词:多机协同LABVIEW通信协议
一种双向限流器件及其制备方法
一种双向限流器件,由下电极、介质层和上电极组成并构成叠层结构,其中介质层为氧化钒薄膜和氧化铜薄膜叠层结构;其制备方法是,首先以硅片为衬底制备二氧化硅绝缘层,再利用离子束溅射的方法制备Ti粘附层;在Ti粘附层上采用磁控溅射...
张楷亮孙阔王芳王宝林孙文翔陆涛鉴肖川
文献传递
一种低功耗阻变存储器及其制备方法
一种低功耗阻变存储器,由下电极、阻变层和上电极组成并构成叠层结构,其中阻变层为氧化钒薄膜和二氧化硅薄膜叠层结构,各层的厚度分别为:下电极50-200nm、氧化钒薄膜5-100nm、二氧化硅薄膜1-50nm、上电极50-2...
张楷亮孙阔王芳王宝林冯玉林赵金石程文可关雪
文献传递
一种基于氮氧化铪低功耗阻变存储器及其制备方法
一种基于氮氧化铪低功耗阻变存储器及其制备方法,由氧化硅片衬底、Ti粘附层、下电极、阻变层和上电极依次叠加构成,其中阻变层为氮氧化铪薄膜和金属铪薄膜的叠层结构;其制备方法是分别通过磁控溅射、离子束溅射或电子束蒸发方法依次制...
张楷亮孙阔王芳陆涛孙文翔韦晓莹王宝林冯玉林赵金石
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基于氧化钒/氧化铝叠层结构的阻变存储器及其制备方法
一种基于氧化钒/氧化铝叠层结构的阻变存储器由下电极、阻变层和上电极组成并构成叠层结构,其中阻变层为氧化钒薄膜和氧化铝薄膜叠层结构,各层的厚度分别为:下电极50-200nm、氧化钒薄膜5-100nm、氧化铝薄膜1-50nm...
张楷亮孙阔王芳陆涛孙文翔王宝林赵金石胡曦文王雨晨
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一种双向限流器件及其制备方法
一种双向限流器件,由下电极、介质层和上电极组成并构成叠层结构,其中介质层为氧化钒薄膜和氧化铜薄膜叠层结构;其制备方法是,首先以硅片为衬底制备二氧化硅绝缘层,再利用离子束溅射的方法制备Ti粘附层;在Ti粘附层上采用磁控溅射...
张楷亮孙阔王芳王宝林孙文翔陆涛鉴肖川
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