2024年12月27日
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张楷亮
作品数:
215
被引量:501
H指数:13
供职机构:
天津理工大学
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国家自然科学基金
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王芳
天津理工大学电子信息工程学院天...
赵金石
天津理工大学电子信息工程学院天...
苗银萍
天津理工大学电子信息工程学院
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
封松林
中国科学院上海微系统与信息技术...
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2006
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2005
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一种基于MoS<Sub>2</Sub>的全固态电解质忆阻器及其制备方法
一种基于MoS<Sub>2</Sub>的全固态电解质忆阻器及其制备方法,属于电子制备工艺以及类脑计算领域,首先选用MoS<Sub>2</Sub>作为沟道材料,MoS<Sub>2</Sub>通过ALD和CVD相结合的方法来...
王芳
梁安阁
张楷亮
张力方
单欣
林欣
胡凯
袁育杰
超高声速材料金刚石纳米膜制备及平坦化技术研究
张楷亮
苗银萍
王芳
袁育杰
曲长庆
吴晓国
王莎莎
张涛峰
许旺
近年来,随着无线通讯技术的高速发展,使得无线通信频带成为一个有限而宝贵的自然资源。人们对高数据传输速率的要求使得声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高。该发展趋势迫使广大研究学者不断探索高质量超高声速材料制备技术和微细...
关键词:
极大规模集成电路碳纳米管互连基础及关键工艺研究
张楷亮
魏军
王芳
袁育杰
苗银萍
宋殿友
许旺
林新元
朱晓松
胡凯
田博
随着集成电路特征尺寸的进一步微细化,互连线所承载的电流密度越来越大,正在挑战Cu互连线的极限(106A/cm<'2>),尤其是ITRS预测技术时代进入32纳米后,互连线的电流承载密度将达107A/cm<'2>,这将超越C...
关键词:
关键词:
集成电路
碳纳米管
低热阻金刚石薄膜LED倒装散热基板的研究
张楷亮
杨保和
魏军
吴小国
王芳
宋殿友
李翠平
钱莉荣
随着半导体照明SSL在全球掀起的“第四代”照明光源热潮,高功率LED成为发展之所需。作为冷光源的LED随着功率的提高,一系列问题亟待解决,其中高功率下的热量管理问题成为功率型LED的重要研究课题。热量引起结温升高,同时导...
关键词:
关键词:
金刚石薄膜
基板材料
封装工艺
一种不饱和聚酯/蒙脱土纳米复合材料及其制备方法
一种不饱和聚酯/蒙脱土纳米复合材料及其制备方法,其蒙脱土分散相尺度为10~100nm,其组分和含量是(重量份):不饱和聚酯树脂预聚体100、插层土0.5~20、引发剂0.5~5.0、促进剂0.5~5.0,其中插层土为经插...
王立新
袁金凤
任丽
张楷亮
洪奕
赵金玲
文献传递
一种二维纳米片层过渡金属硫化物双向开关器件
一种二维纳米片层过渡金属硫化物双向开关器件,包括衬底、二维纳米片层过渡金属硫化物功能薄膜、左电极和右电极并形成叠层结构,关器件的横向沟道的长度为10nm‑2μm、宽度为10nm‑5μm。本发明的优点是:该开关器件为双向开...
张楷亮
方明旭
王芳
冯玉林
唐登轩
李悦
文献传递
超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平面化抛光液
一种超大规模集成电路多层铜布线用化学机械全局平面化抛光液,其组成成分重量%是:SiO<Sub>2</Sub>、CeO<Sub>2</Sub>、Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>、ZrO、MgO的水溶胶...
刘玉岭
王新
檀柏梅
张楷亮
刘纳
文献传递
用电子束曝光和化学机械抛光工艺制备纳电子存储器的方法
本发明涉及一种利用电子束曝光和化学机械抛光的工艺制作纳电子存储器的方法。工艺步骤是:(1)在清洗干净的衬底上热氧化一层氧化层;(2)沉积过渡层与底电极薄膜;(3)再次沉积过渡层与介质绝缘绝热层;(4)通过电子束曝光在绝缘...
宋志棠
刘奇斌
张楷亮
封松林
陈邦明
文献传递
纳米有机蒙脱石改性环氧树脂的研究
被引量:4
2002年
利用长链的有机阳离子改性天然蒙脱石 ,制备出有机蒙脱石 ,用于改性环氧树脂。在有机蒙脱石低含量范围 ,环氧树脂有机蒙脱石复合物的触变性得到了显著改善 ;同时将固化产物的热降解温度从 380 .4℃提高至397.4℃。
张楷亮
王芳
王立新
关键词:
改性
环氧树脂
耐热性
触变性
一种蓝宝石衬底化学机械抛光浆液
本发明提供一种用于蓝宝石衬底的化学机械抛光浆液,此浆液包含pH调节剂、表面活性剂、水性介质及一种复合研磨颗粒。该复合研磨粒子是由基材颗粒碳化硼表面包覆一层粒子所构成。通过本发明提供的化学机械抛光浆液,蓝宝石衬底的抛光速率...
王良咏
张楷亮
宋志棠
封松林
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