郭进
- 作品数：70 被引量：23H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第三十八研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国际科技合作与交流专项项目安徽省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>
- 一种集成型生物传感器及其制备方法
- 本发明公开了一种集成型生物传感器及其制备方法，所述入射波导设置在本体的输入端，所述滤波器的输入端位于本体的输入端上，所述滤波器的输出端位于本体的输出端上，所述热调谐微环设置在滤波器的输出端上，所述功分器的输入端位于热调谐...
- 金里周杰方俏然赵恒吴浩然冯俊波郭进崔乃迪
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- 一种同质界面二维δ掺杂型PIN紫外探测器
- 本发明属于半导体光电子器件技术领域，具体涉及一种同质界面二维δ掺杂型PIN紫外探测器，包括衬底，缓冲层，N型欧姆接触层，N型欧姆接触电极，吸收层，二维δ掺杂层，P型欧姆接触层，P型欧姆接触电极；其中，所述二维δ掺杂层为高...
- 王俊郭进王国胜金里
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- 三环型波导微环谐振器无热化生物传感器被引量：4
- 2014年
- 针对温度波动对生物传感器探测性能的影响,本文提出了一种三环型波导微环谐振器无热化生物传感器。传感器芯片以3个微环谐振器为一个传感单元,3个微环谐振器并联排列,且分别工作在1 500、1 550和1 580 nm波长,以其中两个为基本探测微环,另外一个作为备用微环。由于3个微环工作波长不同,可通过运算消去温度对探测谱线变化值的影响项,从而实现传感器的无热化探测。相对于传统的无热化方案,本方案制备材料不受限,且无需参考微环,不存在浪费面积,集成度更高。另外备用微环的设计可以防止部分微环工作失常时传感器无法工作情况的发生,提高了系统的稳定性及可靠性。
- 崔乃迪寇婕婷梁静秋王惟彪郭进冯俊波滕婕曹国威
- 关键词：生物传感器微环谐振器无热化
- 基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器
- 本实用新型基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器涉及一种半导体光电子器件。其目的是为了提供一种基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器，该紫外探测器通过阻挡势垒结构对探测器的输运模式进行选择，同时采用先...
- 王俊郭进王国胜吴浩然王唐林宋曼易媛媛谢峰
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- 一种基于MEMS高精度网点导光板的制作方法
- 本发明公开了一种基于MEMS高精度网点导光板的制作方法，包括如下步骤：制作所需的光刻胶网点初步图形；采用回流技术制作所需的光刻胶网点结构；沉积电铸导电层；电铸导光板网点压印模具；热压印工艺制作导光板。本发明相比现有技术具...
- 周杰曹国威王皖君冯俊波郭进
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- 一种自支撑大高宽比聚合物结构的制作方法
- 本发明公开了一种自支撑大高宽比聚合物结构的制作方法，该方法首先在衬底上制作一层聚合物薄膜或金属薄膜的牺牲层：然后在牺牲层上涂覆一层光刻胶，制作得到大高宽比微结构，最后去除牺牲层，获得自支撑大高宽比聚合物结构。本发明的有益...
- 周杰曹国威王皖君郭进冯俊波滕婕
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- 一种光子晶体三谐振腔无热化生物传感器
- 本发明公开了一种光子晶体三谐振腔无热化生物传感器，其包括基板、以及呈矩阵式垂直设置在该基板上的若干第一介质柱与若干第二介质柱，该第一介质柱的半径为r，该第二介质柱的半径为r<Sub>a</Sub>，且r≠r<Sub>a<...
- 崔乃迪郭进冯俊波滕婕周杰
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- 一种硅纳米孔洞的孔径调节方法
- 本发明属于硅纳米孔洞的加工和制备技术领域，具体涉及一种硅纳米孔洞的孔径调节方法。本方法首先测量出硅纳米孔洞的直径；然后计算出直径与期望值的偏差Δ：若直径大于期望值，则将带有硅纳米孔洞的器件加热氧化，使硅被氧化掉的厚度为r...
- 冯俊波郭进滕婕宋世娇
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- 一种新型同质结PIN紫外探测器
- 本发明涉及半导体光电子器件技术领域，具体涉及一种新型同质结PIN紫外探测器，包括衬底、缓冲层、N型欧姆接触层、吸收层、P型梯度掺杂层、N型欧姆接触电极、P型欧姆接触电极；所述缓冲层设置在衬底上；N型欧姆接触层设置在缓冲层...
- 王俊郭进何来胜胡洋王国胜
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- 一种硅基光子生物传感器芯片的微流体封装方法
- 本发明涉及微流体封装领域，具体涉及一种硅基光子生物传感器芯片的微流体封装方法，包括以下步骤：1)制作用于成型PDMS(聚二甲基硅氧烷)薄膜的模具；2)配制PDMS溶液；3)将PDMS溶液浇筑到模具的型腔中成型PDMS薄膜...
- 金里周杰郭进方俏然
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