赵全斌
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究被引量：1
- 2006年
- 我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构,在梁厚度方向形成非对称掺杂,表现出压阻特性.利用该局部压阻,我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量,其共振频率为400kHz;同时,我们对获得的低Q值进行了初步讨论.
- 赵全斌焦继伟杨恒林梓鑫李铁张颖王跃林
- 关键词：压阻检测谐振特性
- 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究
- NEMS谐振器作为痕量传感器在生化检测等领域应用获得广泛关注，而纳米尺度下器件的谐振特性检测成为一个关键技术问题。在硅基谐振器特性的主要检测方法中，压阻检测方法因易于实现、易于与器件集成等优点而应用甚多，但是在纳米厚度的...
- 赵全斌
- 关键词：压阻检测离子注入谐振特性生化检测
- 文献传递
- 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究
- 我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242 nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著...
- 赵全斌焦继伟杨恒林梓鑫李铁张颖王跃林
- 关键词：压阻检测谐振特性
- 文献传递
