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王玉中
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
华南理工大学理学院应用物理系
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发文基金:
广东省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
赵寿南
华南理工大学理学院应用物理系
梁海生
华南理工大学理学院应用物理系
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王玉中
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华南理工大学...
年份
1篇
1995
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硅扩散应力的理论分析
被引量:4
1995年
参考热弹性力学中的薄板热应力理论,推导出了硅薄片中扩散应力的表达式;讨论了单面扩散和双面扩散硅片中的应力分布规律,并将理论结果踉光弹实验结果作了比较,发现它们之间有比较好的一致性。
王玉中
赵寿南
梁海生
关键词:
硅
应力
扩散
光弹性
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