张宇
- 作品数：27 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信核科学技术电气工程金属学及工艺更多>>
- 一种低暗电流高响度InGaAs/InP pin光电探测器被引量：3
- 2014年
- 分析了InGaAs/InP pin光电探测器暗电流和响应度的影响因素,并对MOCVD外延工艺以及器件结构进行优化,从而提高器件响应度和降低暗电流。采用低压金属有机化学气相沉积设备(LP-MOCVD)成功制备了InGaAs/InP pin光电探测器,得到了高质量的晶体材料,InGaAs吸收层的背景浓度低于4×1014 cm-3。利用扩Zn工艺制作出感光区直径为70μm的平面光电探测器。测量结果显示,在反偏电压为5 V时,暗电流小于0.05 nA,电容约为0.4 pF。此外,在1 310 nm激光的辐照下,器件的响应度可达0.96 A/W以上。
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- 关键词：INGAAS光电探测器暗电流响应度
- 磷化铟扩散方法
- 本发明公开了一种磷化铟扩散方法，涉及半导体器件的制作方法技术领域。所述方法包括如下步骤：将磷化铟待扩散圆片放入MOCVD设备中，调节MOCVD的反应室总气体流量至所需值，氮气气氛转换为氢气气氛后升温，进行表面保护，继续升...
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- 一种InP基DHBT材料结构的制备方法
- 本申请提供一种InP基DHBT材料结构的制备方法，包括：采用金属有机化学气相沉积MOCVD工艺在衬底上依次生长高掺N型InGaAs集电区接触层、低掺N型InP集电区层、低掺N型InGaAsP能带渐变层、高掺P型InGaA...
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- 空心盘
- 本发明提供一种空心盘，用于设置在MOCVD设备的反应室内，空心盘可拆卸式设置在反应室的石墨盘上，其中，空心盘为片状结构、中部设有一圆孔，圆孔的尺寸与待外延的衬底基片相匹配、用于容置衬底基片；空心盘的外缘与石墨盘的尺寸匹配...
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- MOCVD外延设备的温度校准方法
- 本发明适用于半导体技术领域，公开了一种MOCVD外延设备的温度校准方法，该方法包括：获取温度校准片，并将温度校准片放入MOCVD外延设备的反应室内；调节反应室内的总气体流量至预设流量值，并向反应室内通入保护气体；控制反应...
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- 文献传递
- 一种磷化铟基双异质结双极型晶体管外延层结构
- 本发明涉及双异质结双极晶体管(DHBT)技术领域，尤其是涉及npn型InGaAs/InP DHBT技术领域，具体公开了一种磷化铟基双异质结双极型晶体管外延层结构，自磷化铟衬底向上依次包括轻掺杂的N型磷化铟集电区层、能带渐...
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- 文献传递
- 多叠层隧道级联半导体激光器
- 本发明公开了一种多叠层隧道级联半导体激光器，属于半导体激光器领域。本发明包括2-4个垂直连接的单层激光器单元；相邻两单层激光器单元之间按照半导体晶体生长规则通过具有特殊结构的隧道结单元层生长连接；隧道结单元包括高掺杂的P...
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- 文献传递
- GaAs平面掺杂势垒二极管
- 2017年
- 二极管是定向检波器的重要组件,提高定向检波器的检波灵敏度,需要降低二极管的开启电压。而平面掺杂势垒(PDB)二极管具有极低的势垒高度,适合制作定向检波器。设计了GaAs平面掺杂势垒二极管的材料结构,并采用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)方法对其进行外延生长。对PDB二极管的物理模型进行了理论分析。通过模拟计算和实验分析了本征层厚度和p层的面电荷密度对PDB二极管I-V特性的影响。通过实验设计优化了材料结构参数,测试了其I-V特性,使PDB二极管的开启电压降低到了0.06 V,将此样品应用到定向检波器中测得检波灵敏度为20~25 mV/mW。
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- 关键词：开启电压I-V特性
- 多叠层隧道级联半导体激光器
- 本实用新型公开了一种多叠层隧道级联半导体激光器，属于半导体激光器领域。本实用新型包括2-4个垂直连接的单层激光器单元；相邻两单层激光器单元之间按照半导体晶体生长规则通过具有特殊结构的隧道结单元层生长连接；隧道结单元包括高...
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- 文献传递
- 提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法、薄膜的制备方法及其应用
- 本发明涉及P型铟镓砷薄膜生长技术领域，具体公开了提高P型铟镓砷薄膜掺杂浓度的方法，将掺杂碳的铟镓砷薄膜，在氮气环境下进行降温退火，退火温度从550±10℃均匀降到400±10℃，时间为5±1min，压力为50±5mbar...
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- 文献传递
