万永中
- 作品数：41 被引量：77H指数：5
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划教育部重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学化学工程电子电信金属学及工艺更多>>
- 大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化被引量：15
- 1999年
- 采用直拉热丝ＣＶＤ法沉积了面积３ 英寸的金刚石薄膜。硅衬底在沉积前采用０－５ ～１μｍ 金刚石微粉研磨，使成核密度达１０１０ 个／ｃｍ２ 以上，同时调整沉积工艺，特别是降低沉积气压至０－５ ～１－５ｋＰａ，促进了金刚石的二次成核，使薄膜变得十分平坦，当薄膜厚度为５μｍ 时，表面粗糙度Ｒａ 仅为６０ｎｍ 左右。另外，以铝作为保护膜，用氧离子束刻蚀金刚石薄膜，得到宽度为３ ～５μｍ 的精细金刚石薄膜图形。
- 张志明沈荷生何贤昶万永中杨艺蓉任琮欣
- 关键词：金刚石离子束刻蚀
- 常压乙炔火焰制备金刚石的生长条件被引量：3
- 1997年
- 本文用非平衡热力学耦合模型计算了常压乙炔火焰生长金刚石的相图，从理论上得到金刚石生长合适的衬底温度及气体流量比条件．不同衬底温度下氧气与乙炔流量比的范围是不同的．实验中通常的衬底温度在1000～1250K之间，此时合适的流量比范围应为0．8～1．1．衬底温度太低，不论流量比为何值，都不能生长金刚石．不同气体流量比时，衬底温度的范围也不相同，当流量比接近于1时，衬底温度的范围最宽；流量比偏离1时，衬底温度的范围将迅速变窄．本文从理论上得到的生长条件与报道的实验结果基本相符，因而可用于指导乙炔火焰生长金刚石的实验研究．
- 张卫万永中王季陶
- 关键词：金刚石相图半导体材料薄膜生长
- 压电线性马达与纳米马达被引量：5
- 2003年
- 国外对压电线性马达的研究已经进行了有些年了,并已有较为成熟的应用。它利用压电陶瓷基片或薄膜、电致伸缩材料等功能部件实现驱动,主要特征是能够提供较大的横向输出力,同时,又可能实现超高精度和小位移——毫米级的位移行程和原子级的精度。一般用空载速度、最大推进力、效率及其他一些参数来表征压电线性马达。该文首先介绍几种类型的压电线性马达,包括它们的结构、运行原理和特性等,然后再介绍纳米马达。应该指出,纳米马达是压电线性马达的发展,其特点是能够实现纳米级精度的位移,国外已经在精密仪器、航天航空、自动控制、办公自动化、微型机械系统、微装配、纳米定位等领域得到了实际应用。
- 费继承王庆康万永中段智勇
- 关键词：纳米马达驱动器
- C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图计算被引量：1
- 1998年
- 用非平衡热力学耦合模型计算得到了C-H-Cl气相体系生长金刚石的相图，并与报道的实验结果符合很好．比起C-H体系生长金刚石的相图，该相图中的金刚石生长区明显移向低温方向，说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度．通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响．
- 刘志杰张卫万永中王季陶
- 关键词：金刚石相图
- 碳氢氟体系低压生长金刚石的相图被引量：3
- 1997年
- 本文从理论上首次计算了含卤素体系中生长金刚石薄膜的三元相图，研究了碳－氢－氟（C－H－F）体系中金刚石生长区随衬底温度及氟含量的变化趋势．与实验比较，符合较好。计算结果表明C－H－F体系的三元相图中金刚石生长区的位置和变化趋势与碳－氢－氧（C－H－O）体系中的有明显的差别，特别是当气相中氟含量超过氢含量时，金刚石生长区趋于消失。理论计算的相图可用于优化含氟体系生长金刚石的实验条件如碳氢氟的组份和衬底温度等。
- 万永中刘志杰张卫王季陶
- 关键词：金刚石热力学
- 甲烷-氢气体系金刚石生长的热力学相图分析被引量：2
- 1998年
- 低压金刚石的生长实验自八十年代至今已取得了很大成功。但采用合理的计算方法定量化地预测出金刚石生长条件在国内外还是一个新的课题。本文根据非平衡热力学耦合理论模型绘制了甲烷－氢气体系金刚石生长投影相图，并收集了１９８２－１９９７年大量的实验结果，经比较相一致，并讨论了氢原子在金刚石生长过程中的作用。计算得到的相图与经典平衡相图有本质不同，有金刚石生长区，因而可以合理解决金刚石低压下连续生长而石墨被腐蚀的实验事实与经典平衡热力学之间的矛盾。本文的计算结果可以为ＣＶＤ金刚石生长实验提供定量化的压力条件的选择和优化实验条件。
- 刘志杰张卫万永中王季陶
- 关键词：金刚石相图
- 添加氧影响下低压金刚石生长的条件被引量：4
- 1998年
- 采用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在ＣＯ－Ｈ２、ＣＯ－Ｏ２－Ｈ２体系中的生长情况，计算不同氧含量下的金刚石生长相图，固定氧氢比考察压力变化对金刚石生长区的影响，讨论了不同氧氢含量对金刚石生长区的影响．与经典的平衡热力学理论计算所得的相图不同，本文的相图均有金刚石生长区，可以很好地解释低压下金刚石在气相中的生长，还可以用于指导低压金刚石生长的实验研究．
- 刘志杰万永中张卫张剑云王季陶
- 关键词：相图金刚石低压
- CVD金刚石涂层丝和涂层纤维被引量：3
- 2001年
- 对近年来CVD金刚石涂层丝和涂层纤维以及金刚石涂层纤维复合材料的分类和发展状况做了较全面的介绍 ,并分析了它们的应用前景以及存在的问题。
- 何贤昶沈荷生张志明胡晓君杨小倩万永中
- 关键词：化学气相沉积金刚石薄膜涂层纤维CVD
- 低压下用CO+H_2气体制备人造金刚石的相图计算被引量：7
- 1997年
- 用非平衡热力学耦合模型计算了低压下由CO＋H2气体制备人造金刚石的相图．这些相图与经典的平衡热力学理论计算的相图不同，都有一个金刚石生长区．金刚石生长区的存在是实现用CO＋H2气体制备人造金刚石的热力学基础．本文认为相图中的金刚石生长区是体系中超平衡氢原子和超平衡氧原子对金刚石相和石墨相不同作用的结果．不同压力下相图中金刚石生长区的范围稍有不同，压力降低时，金刚石生长区将向低CO浓度的方向移动．本文还将计算的结果与报道的实验结果进行了对比分析，两者基本相符．
- 张卫万永中王季陶
- 关键词：相图化学气相淀积低压人造金刚石
- 纳米步进马达研制
- 王庆康段智勇费继承万永中曾令刚
- 该项目采用微动量驱动原理，将压电晶体在电脉冲作用下产生的微动量通过动量发生器转换成微动量后，驱动滑块在导轨上产生纳米位移。研制成功了行程5厘米具有纳米精度的纳米步进马达样机。该机可以往复进行纳米步进位移，步进精度小于50...
- 关键词：
- 关键词：步进马达
