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陈波寅

作品数：40 被引量：0H指数：0
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：电子电信化学工程自动化与计算机技术理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 39篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 6篇化学工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 33篇圆片
  • 24篇硅圆片
  • 20篇封装
  • 19篇圆片级
  • 15篇阳极键合
  • 15篇键合
  • 12篇微槽
  • 8篇二极管
  • 8篇发光
  • 8篇发光二极管
  • 7篇热成型
  • 6篇熔融玻璃
  • 6篇碳化物
  • 6篇热阻
  • 6篇接触热阻
  • 6篇金属
  • 6篇化物
  • 6篇封装玻璃
  • 6篇封装方法
  • 5篇载流子

机构

  • 40篇东南大学

作者

  • 40篇陈波寅
  • 39篇尚金堂
  • 39篇张迪
  • 39篇徐超
  • 21篇黄庆安
  • 15篇柳俊文
  • 13篇唐洁影

年份

  • 10篇2012
  • 11篇2011
  • 19篇2010
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
发光二极管的圆片级玻璃微腔封装方法
本发明公开一种发光二极管的圆片级玻璃微腔封装方法，包括以下步骤：第一步，在Si圆片上刻蚀与所封装LED阵列相对应的图案：微槽阵列，微槽之间通过微流道相连通，在微槽内放置适量的热释气剂；第二步，形成密封腔体；第三步，将上述...
尚金堂徐超陈波寅张迪
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散热界面材料的制备方法、使用方法及制备装置
本发明公开一种散热界面材料的制备方法，包括以下步骤：第一步，在生长片上制备定向排列的碳纳米管阵列，第二步，在碳纳米管的自由端部先后沉积金属浸润层和金属过渡层，第三步，转移碳纳米管阵列，使得碳纳米管阵列与生长片接触的生长片...
尚金堂张迪陈波寅徐超黄庆安
文献传递
具有红外线聚焦功能的MEMS红外传感器的封装方法
本发明公开了一种具有红外线聚焦功能的红外传感器的封装方法，包括以下步骤：根据所要封装的红外传感器芯片确定封装结构的图案及其尺寸在硅圆片上刻蚀形成符合上述封装要求的特定微槽图案，将上述的硅圆片与玻璃圆片键合，使玻璃圆片与上...
黄庆安尚金堂柳俊文唐洁影徐超张迪陈波寅
利用球形玻璃微腔进行气密性封装的方法
本发明公开一种利用球形玻璃微腔进行气密性封装的方法，包括以下步骤：第一步：在玻璃圆片上制备密封芯片用玻璃微腔和引线玻璃微腔；第二步，芯片贴装：在具有薄二氧化硅层的硅衬底圆片上制作引线，将芯片粘贴在与密封芯片用玻璃微腔对应...
尚金堂张迪陈波寅徐超
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二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法
本发明公开了一种二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法，包括以下步骤：第一步，根据所要封装的热电堆式红外探测器设计出二元光学掩模板。第二步，使用二元光学掩模板在硅圆片上进行三次嵌套刻蚀，在硅圆片上刻蚀出具有...
尚金堂徐超张迪陈波寅柳俊文唐洁影黄庆安
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圆片级玻璃微流道的正压热成型制造方法
本发明公开一种圆片级玻璃微流道的正压热成型制造方法，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在Si圆片上刻蚀特定的硅微流道浅槽图案，第二步，在硅微流道两端或特定的位置局部放置适量的高温释气剂，第三步，将上述Si圆片与Py...
尚金堂陈波寅张迪徐超柳俊文唐洁影黄庆安
文献传递
MEMS圆片级封装的划片方法
本发明公开一种MEMS圆片级封装的划片方法，包括以下步骤：制备圆片级玻璃微腔阵列，将上述圆片级玻璃微腔阵列与相应的载有MEMS器件阵列的硅圆片进行对准，再键合，从而进行圆片级封装，在所述封装后的圆片的硅圆片的一面按照划片...
尚金堂陈波寅徐超张迪柳俊文黄庆安
低污染高成品率圆片级均匀尺寸玻璃微腔的制备方法
本发明公开一种低污染高成品率圆片级均匀尺寸玻璃微腔的制备方法，包括以下步骤：在硅圆片上刻有微槽形成的阵列，微槽之间刻有微通道相连，微槽的最小槽宽大于流道宽度的5倍，在其中的至少一个微槽内放置适量热释气剂，相应的用玻璃圆片...
尚金堂陈波寅徐超张迪
二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法
本发明公开了一种二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法，包括以下步骤：第一步，根据所要封装的热电堆式红外探测器设计出二元光学掩模板。第二步，使用二元光学掩模板在硅圆片上进行三次嵌套刻蚀，在硅圆片上刻蚀出具有...
尚金堂徐超张迪陈波寅柳俊文唐洁影黄庆安
MEMS圆片级真空封装方法
本发明公开一种真空度维持时间长的MEMS玻璃微腔真空封装工艺，包括以下步骤：首先利用Si微加工工艺在硅圆片上刻蚀深的封装槽，并在其周围刻蚀相对较浅的环状的真空缓冲槽，然后将上述刻有微槽的硅圆片与玻璃圆片进行键合，使玻璃圆...
尚金堂陈波寅张迪徐超柳俊文唐洁影黄庆安
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