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柳俊文

作品数：25 被引量：1H指数：1
供职机构：东南大学更多>>
相关领域：电子电信化学工程文化科学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 24篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 24篇圆片
  • 16篇圆片级
  • 14篇封装
  • 13篇硅圆片
  • 9篇键合
  • 8篇阳极键合
  • 6篇微加工
  • 5篇圆片级封装
  • 5篇MEMS
  • 4篇熔融玻璃
  • 4篇图案
  • 4篇热成型
  • 4篇微槽
  • 4篇密封
  • 4篇刻蚀
  • 4篇光学
  • 3篇微电子
  • 3篇微电子机械
  • 3篇微电子机械系...
  • 2篇应力作用

机构

  • 25篇东南大学

作者

  • 25篇柳俊文
  • 24篇尚金堂
  • 24篇黄庆安
  • 22篇唐洁影
  • 15篇陈波寅
  • 15篇张迪
  • 15篇徐超

年份

  • 5篇2012
  • 5篇2011
  • 8篇2010
  • 4篇2009
  • 3篇2008
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
MEMS圆片级封装的划片方法
本发明公开一种MEMS圆片级封装的划片方法，包括以下步骤：制备圆片级玻璃微腔阵列，将上述圆片级玻璃微腔阵列与相应的载有MEMS器件阵列的硅圆片进行对准，再键合，从而进行圆片级封装，在所述封装后的圆片的硅圆片的一面按照划片...
尚金堂陈波寅徐超张迪柳俊文黄庆安
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用微模具成型圆片级玻璃器件的方法
本发明提供了一种用微模具成型圆片级玻璃器件的方法，在微电子加工工艺在抛光硅圆片上刻蚀形成特定结构模具深腔，将上述硅圆片与Pyrex7740玻璃圆片在真空环境下进行键合，使硅片上的上述特定结构模具深腔形成密封腔体，将上述键...
黄庆安柳俊文尚金堂唐洁影
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圆片级MEMS微流道的制造方法
本发明公开一种圆片级MEMS微流道的制造方法，包括以下步骤：利用微加工工艺在双面抛光Si圆片上制造微流道图形结构，将上述Si圆片与相同尺寸的Pyrex7740玻璃圆片进行密封键合使微流道图形结构密封形成密封真空腔体，将上...
黄庆安柳俊文唐洁影尚金堂
文献传递
二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法
本发明公开了一种二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法，包括以下步骤：第一步，根据所要封装的热电堆式红外探测器设计出二元光学掩模板。第二步，使用二元光学掩模板在硅圆片上进行三次嵌套刻蚀，在硅圆片上刻蚀出具有...
尚金堂徐超张迪陈波寅柳俊文唐洁影黄庆安
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二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法
本发明公开了一种二元光学玻璃透镜的制造及封装MEMS红外探测器的方法，包括以下步骤：第一步，根据所要封装的热电堆式红外探测器设计出二元光学掩模板。第二步，使用二元光学掩模板在硅圆片上进行三次嵌套刻蚀，在硅圆片上刻蚀出具有...
尚金堂徐超张迪陈波寅柳俊文唐洁影黄庆安
MEMS圆片级真空封装方法
本发明公开一种真空度维持时间长的MEMS玻璃微腔真空封装工艺，包括以下步骤：首先利用Si微加工工艺在硅圆片上刻蚀深的封装槽，并在其周围刻蚀相对较浅的环状的真空缓冲槽，然后将上述刻有微槽的硅圆片与玻璃圆片进行键合，使玻璃圆...
尚金堂陈波寅张迪徐超柳俊文唐洁影黄庆安
MEMS封装用圆片级玻璃微腔的制造方法
本发明提供了一种MEMS封装用圆片级玻璃微腔的制造方法，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在Si圆片上刻蚀浅槽，第二步，在浅槽中放置适量的高温释气剂，第三步，将上述Si圆片与Pyrex7740玻璃圆片在空气中或真空...
尚金堂陈波寅张迪徐超柳俊文唐洁影黄庆安
圆片级玻璃微流道的正压热成型制造方法
本发明公开一种圆片级玻璃微流道的正压热成型制造方法，包括以下步骤：第一步，利用Si微加工工艺在Si圆片上刻蚀特定的硅微流道浅槽图案，第二步，在硅微流道两端或特定的位置局部放置适量的高温释气剂，第三步，将上述Si圆片与Py...
尚金堂陈波寅张迪徐超柳俊文唐洁影黄庆安
高成品率圆片级封装MEMS器件的方法
本发明公开一种高成品率圆片级封装MEMS器件的方法，属于MEMS封装领域，方法包括以下步骤：第一步，在Si圆片上刻蚀形成特定图案阵列，再将上述Si圆片与Pyrex7740玻璃圆片在小于1Pa的气氛下进行阳极键合，使Pyr...
尚金堂张迪徐超陈波寅柳俊文唐洁影黄庆安
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具有红外线聚焦功能的MEMS红外传感器的封装方法
本发明公开了一种具有红外线聚焦功能的红外传感器的封装方法，包括以下步骤：根据所要封装的红外传感器芯片确定封装结构的图案及其尺寸在硅圆片上刻蚀形成符合上述封装要求的特定微槽图案，将上述的硅圆片与玻璃圆片键合，使玻璃圆片与上...
黄庆安尚金堂柳俊文唐洁影徐超张迪陈波寅
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