钟娟娟
- 作品数：4 被引量：15H指数：2
- 供职机构：天津大学更多>>
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- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 用于声光波导相位调制的氧化锌薄膜和叉指换能器的理论和实验研究
- “用于声光波导相位调制的氧化锌薄膜和叉指换能器的理论和实验研究”是国家自然科学基金资助项目“光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究”的子课题。
光电集成加速度地震检波器是一种崭新的传感器，是利用集成光学与半导...
- 钟娟娟
- 关键词：光电集成声光调制声表面波氧化锌薄膜叉指换能器
- 文献传递
- 光电集成加速度地震检波器中声光波导相位调制器的设计与实验被引量：1
- 2005年
- 提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS).为实现硅基底上的光波导M Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法.该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制.在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件.实验结果与理论相一致.
- 张燕君陈才和钟娟娟崔宇明吴波
- 关键词：光电集成相位调制器MOEMS微光机电系统IDT硅基底
- M-Z干涉型集成光学微加速度传感器结构设计被引量：12
- 2004年
- 提出了一种新型的Si基M Z干涉型微光电机械系统(MOEMS)加速度地震检波器。在Si基上集成了Si十字梁、质量块、偏振器、M Z波导干涉仪及声光调制器。给出了该加速度检波器工作原理,对结构进行了分析设计,并用有限元(FEM)分析软件进行了仿真计算。该检波器的主要设计参数为:固有频率1353Hz,相位检测灵敏度1.2×10-4rad/(m·s2)。
- 吴波陈才和张晓玲崔宇明张燕君钟娟娟
- 关键词：集成光学MOEMS声光调制器相位检测
- 光电集成加速度计中声光波导相位调制器的研究被引量：2
- 2004年
- 提出一种新型声光波导相位调制技术 ,用于光电集成M -Z光波导干涉型加速度计的信号调制。相位调制器工作在溅射有K8缓冲层的硅基底上 ,工作波长为 1 3μm。主要对声光调制器的特性参数进行了理论分析和优化设计 ,结果为 :氧化锌薄膜尺寸 5× 0 8× 0 0 0 3mm ,叉指换能器叉指对数N =17,中心距l=2 7 19μm ,中心频率f0=4 8MHz,中心指长L0 =4 4 6mm。
- 钟娟娟陈才和张燕君吴波崔宇明丁桂兰
- 关键词：声光调制相位调制叉指换能器氧化锌薄膜
