皮磊
- 作品数：45 被引量：35H指数：4
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：中央级公益性科研院所基本科研业务费专项国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术文化科学更多>>
- 用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置的建立
- 2025年
- 微纳米定位技术是前沿科学和工程技术领域的关键技术之一,其中微纳米定位平台的位移校准在精密测量领域中占据重要地位,中国计量科学研究院研制了用于微纳米位移定位校准的双溯源链路计量标准装置,并建立为我国计量标准。该装置包含激光干涉法微纳米位移定位校准装置与光栅衍射干涉法微纳米位移定位校准装置,其中激光干涉法校准装置通过六自由度激光干涉校准系统实现了纳米微位移平台直接全面校准,在该溯源链路中量值通过激光干涉仪溯源至米定义的波长基准;光栅衍射干涉法校准装置以一维纳米光栅标准物质为核心,在该溯源链路中量值通过光栅栅距溯源至米定义的波长基准。双溯源链路计量标准装置满足了微纳米定位校准的多样化应用需求并增强溯源方式的全面性和可靠性,保证了集成电路领域光刻等微纳米级位移的高精度测量、航空航天工业关键部件的精密装配测量,该计量装置的建立为我国微纳米定位技术的发展提供了重要的技术支撑。
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- 关键词：计量学光栅标准物质
- 基于激光干涉与电容传感复合校准技术的纳米微动台分辨力评价方法研究被引量：1
- 2023年
- 激光干涉仪测量纳米级分辨力时,因环境等因素的干扰测量具有局限性,电容传感器可较好地对抗这种干扰,但存在无溯源性、非线性误差的缺点。为实现纳米级分辨力的量值溯源,保障量值准确性,采用激光干涉仪对电容传感器进行校准,从而形成纳米微动台-电容传感器-激光干涉仪的完成溯源链。通过量值溯源实验可知,在10 nm步进下电容传感器与激光干涉仪测量量值最大偏差为0.8 nm;电容传感器分辨力校准实验中,纳米位移台分辨力为2 nm。上述结果说明此校准方法具有一定的可行性和实用性。
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- 关键词：激光干涉仪
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本发明公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移测量...
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- 文献传递
- 一种表面微观形貌测量传感器
- 本实用新型公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，...
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- 一种计量型微纳台阶高度测量装置
- 本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级...
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- 文献传递
- 触针式表面形貌测量仪探针几何特性引起的失真机理与识别方法
- 2024年
- 触针式表面形貌测量仪广泛应用于表面粗糙度、几何形状和波纹度等参数的测量,但探针与被测表面交互时所产生的卷积效应会导致测量结果的失真。通过分析探针几何特性引起的失真机理,将失真按其特性分为典型失真和复杂失真。针对探针球形针尖和锥角复合效应引起的失真现象,提出了一种复杂失真的多模态识别方法。实验结果表明:相较于形貌测量仪单模态识别典型失真的限制,该方法可以有效识别形貌测量结果中的复杂失真,同时对测量结果提供可信度解释,为测量结果中失真数据的准确识别和还原提供新的思路。
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- 关键词：几何量计量探针表面形貌
- 一种纳米位移台六自由度校准装置
- 本实用新型公开了一种基于分光激光干涉的六自由度纳米位移台的校准装置，属于激光精密测距技术领域；所述装置包括支撑平台、分光测量装置系统及纳米位移台；这种设计，保证了纳米移动平台6自由度姿态的测量，解决了任意姿态纳米尺度位移...
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- 一种光学检测系统及装置
- 本发明公开了一种光学检测系统及装置，所述系统包括由上至下依次排列的激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、透反镜及测量透镜；非偏振分光镜位置水平对应光电接收器A，透反镜与测量透镜之间固定有λ/4波片，偏振分光镜位置水平对应光电...
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- 文献传递
- 微纳米台阶高度评定方法的比较与分析被引量：4
- 2020年
- 台阶高度作为纳米计量领域中的一个具有代表性的参数,其评定方法层出不穷,本文对现有的台阶高度评定方法进行了介绍,并对其重复性以及一致性进行了分析。结果表明:点对点法和直方图算法受噪声等畸变影响较大,重复性较差;而对直方图算法进行改进,台阶高度由计算直方图中分别对应台阶高、低区域的峰值的横坐标之差转而计算重心的横坐标之差,重复性提高;ISO法、最小二乘多项式拟合法和光学显微解耦合准则重复性较好,计算结果更稳定。通过计算归一化偏差En值来判别6个评价方法的一致性,结果表明其测量结果等效一致。
- 余茜茜施玉书张树李伟皮磊卜祥鹏黄鹭李适李琪高思田
- 关键词：一致性
- 一种用于长度测量校准的标准器组
- 本发明公开了一种用于长度测量校准的标准器组，其包括底座、支撑棒和标准球，所述底板上设置有若干通孔，所述支撑棒的一端设置在所述通孔中，所述支撑棒的另一端设置有一球窝，所述标准球设置在所述球窝内，所述标准球与所述球窝底面之间...
- 施玉书高思田宋小平皮磊张树 金玮李伟李琪黄鹭李适
- 文献传递
