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张天冲

作品数：31 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院高能物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程金属学及工艺理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 29篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 12篇光刻
  • 7篇氯化铯
  • 7篇光刻胶
  • 6篇套刻
  • 6篇刻蚀
  • 6篇硅片
  • 5篇掩膜
  • 5篇离子束
  • 4篇电极
  • 4篇微结构
  • 4篇显影
  • 4篇离子束刻蚀
  • 4篇硅表面
  • 4篇高宽比
  • 4篇硅
  • 3篇电池
  • 3篇掩模
  • 3篇粘附
  • 3篇抛光
  • 3篇紫外光刻

机构

  • 31篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 31篇张天冲
  • 31篇伊福廷
  • 30篇王波
  • 30篇刘静
  • 17篇张新帅
  • 15篇王雨婷
  • 2篇李延春
  • 1篇贾全杰
  • 1篇王焕华

传媒

  • 1篇电镀与精饰
  • 1篇表面技术

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 2篇2021
  • 2篇2020
  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 3篇2017
  • 8篇2016
  • 4篇2015
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 31 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种硅片表面纳米孔结构的制备方法
本发明公开了一种硅片表面纳米孔结构的制备方法，该方法包括：在硅片表面制备氯化铯岛结构；在带有氯化铯纳米岛结构的硅片表面蒸镀一层铝金属薄膜，放入去离子水中超声剥离，去掉氯化铯岛结构及其上的铝金属薄膜，得到多孔铝薄膜；以多孔...
刘静伊福廷张天冲王波张新帅孙钢杰
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一种用于软X射线曝光的掩膜的制备方法
本发明公开了一种用于软X射线曝光的掩膜的制备方法，包括：在抛光硅片表面旋涂第一层聚酰亚胺膜，作为保护结构；在第一层聚酰亚胺膜表面蒸发铬金种子层，作为底金；在铬金种子层之上制备所需光刻胶图形；在具有光刻胶图形的铬金种子层之...
刘静伊福廷张天冲王波张新帅孙钢杰王雨婷
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磁控溅射偏压对Cr薄膜密度以及表面形貌的影响
2016年
利用磁控溅射技术,在不同偏压条件下在Si(001)基底上沉积了金属Cr薄膜样品。用同步辐射装置对样品进行了X-射线反射率测试,采用X-射线反射率分析法研究了不同偏压下Cr薄膜密度的变化。发现当偏压小于300 V时,偏压对所沉积的薄膜起到紧致的效果,偏压为300 V时薄膜密度最大;当偏压大于300 V时,薄膜密度减小。另外,为了探究偏压对薄膜表面形貌的影响,用扫描电子显微镜对各样品进行了表面分析,发现在偏压较小时薄膜表面较为平整;随着偏压增大,表面呈现界面分明的岛状分布。
孙钢杰伊福廷王焕华贾全杰张天冲
关键词：表面形貌磁控溅射偏压
一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法
本发明公开了一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法。本方法为：1)在镀铬金的硅片上电镀Ni柱子阵列；2)在电镀有Ni柱子阵列的所述硅片上旋涂一层液态PMMA后进行烘干处理；3)运用套刻技术，将X射线掩膜版与所述硅...
梁小筱伊福廷刘静王波张天冲颜铭铭徐源泽
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光栅及其制备方法
本发明提供了一种光栅及其制备方法，其中，该方法包括：对第一衬底进行第一处理，得到带有预定结构的第一金制图形，进而得到中间掩膜板；在第二衬底上制备纳米柱阵列，并采用该中间掩膜板对所述纳米柱阵列进行第二处理，得到带有预定结构...
王雨婷伊福廷王波周悦张天冲刘静
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一种制作选择性纳米织构化硅光电池的方法
本发明公开了一种制作选择性纳米织构化硅光电池的方法，包括：对硅片进行三氯氧磷扩散形成P‑N结结构；去除硅片背面及侧面的P‑N结结构；在硅片正面蒸镀钛银层形成金属栅线电极，并在硅片背面形成铝背电极层；在金属栅线电极之上及未...
刘静伊福廷张天冲王波张新帅孙钢杰
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一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法
本发明公开了一种Ni柱子辅助PMMA微透镜阵列及其制备方法。本方法为：1)在镀铬金的硅片上电镀Ni柱子阵列；2)在电镀有Ni柱子阵列的所述硅片上旋涂一层液态PMMA后进行烘干处理；3)运用套刻技术，将X射线掩膜版与所述硅...
梁小筱伊福廷刘静王波张天冲颜铭铭徐源泽
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一种用于软X射线曝光的掩膜的制备方法
本发明公开了一种用于软X射线曝光的掩膜的制备方法，包括：在抛光硅片表面旋涂第一层聚酰亚胺膜，作为保护结构；在第一层聚酰亚胺膜表面蒸发铬金种子层，作为底金；在铬金种子层之上制备所需光刻胶图形；在具有光刻胶图形的铬金种子层之...
刘静伊福廷张天冲王波张新帅孙钢杰王雨婷
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一种制作选择性纳米织构化硅光电池的方法
本发明公开了一种制作选择性纳米织构化硅光电池的方法，包括：对硅片进行三氯氧磷扩散形成P-N结结构；去除硅片背面及侧面的P-N结结构；在硅片正面蒸镀钛银层形成金属栅线电极，并在硅片背面形成铝背电极层；在金属栅线电极之上及未...
刘静伊福廷张天冲王波张新帅孙钢杰
一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法
本发明公开了一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法，其步骤包括：1)选取两片PMMA光刻胶片和一有机丝；2)将该有机丝放在两片PMMA光刻胶片之间；3)将两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝，得到埋...
伊福廷刘静张天冲王波
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