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卫东华

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇电子束曝光
  • 3篇电子束曝光机
  • 3篇数据格式
  • 3篇数据格式转换
  • 3篇图形数据
  • 3篇曝光机
  • 1篇软件开发
  • 1篇程序系统

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇卫东华
  • 2篇刘祖京
  • 2篇顾文琪
  • 1篇方光荣

传媒

  • 1篇电工电能新技...
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇1997
  • 1篇1996
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
电子束曝光图形数据格式转换软件的总体设计与探讨
1997年
本文概述了现有运行于ＶＡＸ－１１／７５０小型机上的ＪＢＸ－６ＡⅡ型电子束曝光机的数据转换软件的主要功能，在此基础上。
卫东华顾文琪刘祖京方光荣
关键词：电子束曝光机图形数据数据格式转换
电子束曝光机图形数据格式转换软件的算法研究
1996年
本文分类研究了电子束曝光机图形数据格式转换软件的主要算法，包括平面内两多边形的相交性测试，二维图形的几何变换，基于方向环法的二维多边形运算，二维图形的可变网格分割法等算法。
卫东华顾文琪刘祖京
关键词：电子束曝光机数据格式转换
电子束曝光机图形数据格式转换软件的研制
该课题解决了通用光学图形数据格式--PG3600格式,到专用JBX-6A Ⅱ型可变矩形电子束曝光机的图形数据格式--JEOL51格式的转换问题.论文首先综述了国内外扫描电子束曝光技术的发展水平,以及电子束曝光机软件的研...
卫东华
关键词：电子束曝光数据格式转换软件开发程序系统
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