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卫东华
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院电工研究所
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电子电信
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合作作者
顾文琪
中国科学院电工研究所
刘祖京
中国科学院电工研究所
方光荣
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电子束曝光图形数据格式转换软件的总体设计与探讨
1997年
本文概述了现有运行于VAX-11/750小型机上的JBX-6AⅡ型电子束曝光机的数据转换软件的主要功能,在此基础上。
卫东华
顾文琪
刘祖京
方光荣
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图形数据
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电子束曝光机图形数据格式转换软件的算法研究
1996年
本文分类研究了电子束曝光机图形数据格式转换软件的主要算法,包括平面内两多边形的相交性测试,二维图形的几何变换,基于方向环法的二维多边形运算,二维图形的可变网格分割法等算法。
卫东华
顾文琪
刘祖京
关键词:
电子束曝光机
数据格式转换
电子束曝光机图形数据格式转换软件的研制
该课题解决了通用光学图形数据格式--PG3600格式,到专用JBX-6A Ⅱ型可变矩形电子束曝光机的图形数据格式--JEOL51格式的转换问题.论文首先综述了国内外扫描电子束曝光技术的发展水平,以及电子束曝光机软件的研...
卫东华
关键词:
电子束曝光
数据格式转换
软件开发
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