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俞锦陛
作品数:
5
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海技术物理研究所
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发文基金:
国家杰出青年科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
于梅芳
中国科学院上海技术物理研究所
乔怡敏
中国科学院上海技术物理研究所
郭世平
中国科学院上海技术物理研究所
巫艳
中国科学院上海技术物理研究所
许颐璐
中国科学院上海技术物理研究所
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中国科学院
作者
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俞锦陛
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乔怡敏
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于梅芳
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郭世平
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1994
1篇
1993
1篇
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等离子体活性氮源的研制
被引量:2
1998年
ZnSe基材料是研制蓝绿色发光器件的首选材料之一。本文报道一种自己研制的、以石英管为主体结构材料的、可适用于ZnSe基材料分子束外延掺杂的简易等离子体活性氛源。该氛源采用射频激励方式激活氮分子。在适当生长条件下,利用装备有该氮源的国产FW-Ⅲ型分子束外延设备,成功地生长出了p型ZnSe优质单晶薄膜。SIMS测量表明,薄膜中氮浓度高达~2.3×1020cm-3;C-V测量表明,净空穴浓度[Na]-[Nd]为~5×1017cm-3,已经达到制备原理性蓝绿色激光二极管的要求(~4.0×1017cm-3)。
王善忠
许颐璐
姬荣斌
巫艳
俞锦陛
乔怡敏
于梅芳
杨建荣
何力
关键词:
射频激励
等离子体
发光器件
真空系统用石英活性气体发生装置
本实用新型提供一种新型的适用于超高真空用的用石英材料制作的气态活性原子、分子发生装置。它是将经过减压后工作气体通过真空漏阀输入到石英反应腔。在反应腔,气体与射频电场耦合产生的活性原子的分子的复合体通过泻流孔泄放至超高真空...
王善忠
许颐璐
杨建荣
俞锦陛
姬荣斌
巫艳
郭世平
何力
文献传递
一种蓝绿色半导体激光器材料及其制备方法
本发明提供了一种蓝绿色半导体激光器材料及其制备方法。在激光器有源区采用原子层外延方法生长原子层超晶格(量子阱)。其中作为势阱的原子层超晶格中的势阱与势垒分别用ZnSe与CdSe组成,其厚度不超过其临界厚度,消除晶格弛豫所...
袁诗鑫
李杰
彭中灵
陈新禹
俞锦陛
郭世平
乔怡敏
于梅芳
谢钦熙
文献传递
红外光电探测器材料和器件的电子显微研究
陈伯良
俞锦陛
童裴明
丁素珍
沈杰
方晓明
王行
该项成果运用电子显微术针对当前红外光电探测器材料和器件领域的三元系晶件材料组分均匀性、夹杂相和微沉淀、晶体质量评价标准、表面电学特性等难题,对碲镉汞、碲锡铅、锑化铟等材料的微观性质和器件光敏特性开展了系统和深入的研究。在...
关键词:
关键词:
探测器
红外光电材料
电子显微术
一种蓝绿色半导体激光器材料及其制备方法
本发明提供了一种蓝绿色半导体激光器材料及其制备方法。在激光器有源区采用原子层外延方法生长原子层超晶格(量子阱)。其中作为势阱的原子层超晶格中的势阱与势垒分别用ZnSe与CdSe组成,其厚度不超过其临界厚度,消除晶格弛豫所...
袁诗鑫
李杰
彭中灵
陈新禹
俞锦陛
郭世平
乔怡敏
于梅芳
谢钦熙
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