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曹燕强

作品数：29 被引量：10H指数：2
供职机构：南京大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信电气工程一般工业技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 17篇纳米
  • 7篇金属
  • 6篇多孔
  • 6篇原子层沉积
  • 5篇无机
  • 5篇ALD
  • 4篇电容
  • 4篇电容器
  • 4篇氧化物薄膜
  • 4篇退火
  • 4篇无机-有机
  • 4篇介质
  • 4篇介质薄膜
  • 4篇衬底
  • 3篇担体
  • 3篇电池
  • 3篇杂化
  • 3篇锂离子
  • 3篇锂离子电池
  • 3篇微电子

机构

  • 29篇南京大学

作者

  • 29篇曹燕强
  • 28篇李爱东
  • 27篇吴迪
  • 5篇刘畅
  • 4篇李学飞
  • 2篇张炜
  • 2篇钱旭
  • 2篇陈君
  • 2篇朱琳
  • 1篇王珊珊
  • 1篇付盈盈

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 8篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 4篇2012
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法
本发明公开了一种基于ALD技术的表面氮改性二氧化钛纳米颗粒的可见光催化剂的制备方法，首先将二氧化钛粉末转移入ALD反应室，对其表面进行超薄TiN薄膜的沉积包裹，包裹参数为：反应室温度100‑500 <Sup>o</Sup...
李爱东曹燕强赵希瑞陈君吴迪
文献传递
ALD制备GaAs基MOS器件中的原位表面钝化方法
本发明公开了一种ALD制备GaAs基MOS器件中的原位表面钝化方法，首先清洗GaAs衬底，之后在HCl水溶液中浸泡3~5分钟，接着在(NH<Sub>4</Sub>)<Sub>2</Sub>S水溶液中浸泡10~40分钟，用...
李学飞李爱东曹燕强吴迪
等离子体增强原子层沉积原理与应用被引量：7
2012年
等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种低温制备高质量超薄薄膜的有效手段,近年来正受到工业界和学术界广泛的关注。简要介绍了PEALD的发展历史和生长原理。描述了PEALD常见的三种设备构造:自由基增强原子层沉积、直接等离子体沉积和远程等离子体沉积,比较了它们的优缺点。着重评述了PEALD的特点,主要具有沉积温度低、前驱体和生长材料种类广、工艺控制灵活、薄膜性能优异等优势,但也面临着薄膜三维贴合性下降和等离子体损伤等挑战。列举了PEALD的一些重要应用,如在金属薄膜制备、铜互连阻挡层、高介电常数材料、薄膜封裹等领域的应用。最后展望了PEALD的发展前景。
曹燕强李爱东
关键词：等离子体金属薄膜高介电材料
一种纳米叠层结构锂离子电池负极材料及其制备方法
本发明公开了一种纳米叠层结构锂离子电池负极材料及其制备方法，属于锂离子电池材料与纳米制备技术领域，制备的负极材料具有优异的稳定性和完整性。本发明利用ALD技术精确控制厚度的优势，交替生长活性氧化物纳米薄膜和保护层氧化物纳...
曹燕强李爱东王珊珊吴迪
文献传递
原子层沉积制备几种纳米薄膜、纳米复合结构及其在微电子和储能器件中的应用研究
原子层沉积(atomic layer deposition，ALD)是基于气态前驱体在沉积表面发生化学吸附反应的一种新型薄膜沉积技术，由于其独特的自限制、自饱和反应机理，因而具有优异的三维共形性、大面积的均匀性和精确的亚...
曹燕强
关键词：纳米复合结构原子层沉积微电子器件储能器件
一种具有特定微结构的超级电容器过渡金属硫化物电极材料的制备方法
本发明公开了一种制备过程简便、成本低廉、具有特定微结构的超级电容器过渡金属硫化物电极材料的制备方法，将裁剪好的泡沫金属清洗干净，真空干燥；之后放入管式退火炉中，在硫化氢气体持续稳定通入的过程中开始升温退火，升温时间40‑...
钱旭李爱东曹燕强 官操吴迪
文献传递
一种大尺寸柔性三维多孔碳结构的制备方法
本发明公开了一种大尺寸柔性三维多孔碳结构的制备方法，属于微纳结构与功能材料制备领域，该制备方法工艺简单，易于实施，且能大规模生产。本发明应用分子层沉积技术（MLD）在适宜的三维模板表面沉积无机‑有机杂化物作为前驱体，通过...
曹燕强李爱东张炜吴迪
文献传递
一种锌基无机-有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法
本发明公开了一种锌基无机‑有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法，属于分离膜材料领域，采用淋浴式分子层沉积技术，一步直接制备无机‑有机多孔纳米分离膜，无需任何后处理工艺，工艺简单，非常有利于大规模生产。本发明包括：准备杂化多孔...
李爱东刘畅曹燕强吴迪
文献传递
一种锌基无机-有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法
本发明公开了一种锌基无机‑有机杂化纳米多孔分离膜的制备方法，属于分离膜材料领域，采用淋浴式分子层沉积技术，一步直接制备无机‑有机多孔纳米分离膜，无需任何后处理工艺，工艺简单，非常有利于大规模生产。本发明包括：准备杂化多孔...
李爱东刘畅曹燕强吴迪
文献传递
利用ALD制备金属纳米间隙的表面增强拉曼散射基底的方法
本发明公开一种利用ALD制备金属纳米间隙的表面增强拉曼散射基底的方法，具体如下：（a）清洗衬底；（b）在衬底表面生成金属纳米颗粒；（c）在衬底表面沉积一层氧化物薄膜；（d）衬底表面再次沉积金属纳米颗粒；（e）将衬底置于酸...
李爱东曹燕强朱琳曹正义吴迪
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