张今朝
- 作品数：16 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 电子束缩小投影成像曝光系统研究
- 顾文琪张福安方光荣薛虹靳鹏云彭开武张今朝唐晖初明璋吴桂君王理明
- 该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究，探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
- 关键词：
- 电子束曝光数据格式的改进设计与实现被引量：2
- 2006年
- 根据中国科学院电工研究所研制的DY-2000型实用化电子束曝光系统对曝光图形数据格式的要求及用户的需要,对原曝光文件格式(EDF)进行了改进,利用VC++6.0开发环境实现了EDF格式文件的图形创建、结构体引用以及文件保存,同时增加了多层图形套刻和邻近效应修正数据处理的功能。实验结果表明,改进后的电子束曝光图形文件格式可满足用户的需求,便于用户新建版图文件,同时也提高了文件传输速度及曝光的效率。
- 魏淑华刘伟李晓娜张今朝韩立
- 关键词：电子束曝光图形发生器图形文件格式套刻
- 0.1微米电子束曝光实验装置的实用化研究
- 本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.
- 薛虹顾文琪张福安课敏唐晖张今朝
- 关键词：电子束曝光机性能指标系统组成
- 文献传递
- 0.1微米电子束曝光实验装置的研制
- 顾文琪张福安王理明薛虹潭敏唐晖陈志琪安秉谦张今朝王启祥卢维美王岩红
- “0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中，以电子束...
- 关键词：
- 关键词：电子束曝光机光刻技术
- 纳米级电子束曝光机软件的研制
- 本文针对正在研制的DY2001A电子束曝光机所需软件进行分析.首先介绍了任务的目的和当前现状;然后从系统研制的角度分析其构成;最后基于现有条件,提出总体要求、方案选择和重点难点和创新点.
- 张今朝方光荣
- 关键词：电子束曝光图形数据软件系统
- 文献传递
- 电子束曝光机对准软件研究
- 张今朝
- 关键词：电子束曝光机
- 一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用被引量：2
- 2005年
- 提出一种新型的电子束曝光数据格式,引入了面向对象的设计和适应于矢量型电子束扫描方式的设计,提高了对通用图形数据格式转换的精确度和效率,同时更便于对电子束曝光机的曝光控制。该设计已在电工所的科研项目“纳米级电子束曝光系统”中得到应用,被称之为EDF数据格式。
- 李晓娜张今朝刘伟孙红三韩立
- 关键词：电子束曝光机数据格式转换
- EBAS-1型电子注分析仪数据采集及控制系统
- 2000年
- 简要介绍了电子注分析仪数据采集及控制系统的重要性和基本结构 ,然后着重介绍了该系统的软、硬件设置及其工作原理。
- 张今朝张福安
- 关键词：数据采集
- DY2001A型电子束曝光机软件系统设计被引量：4
- 2003年
- DY2001A型电子束曝光机是作为实用化的小型曝光系统而研制的。从设计角度详细阐述了DY2001A型电子束曝光机软件系统的构成,包括数据转换、对准校正套刻、硬件系统控制、曝光控制及数据建立和管理。
- 张今朝方光荣
- 关键词：电子束曝光机数据转换软件系统
- 基于DSP图形发生器曝光算法的研究
- 2004年
- 新型图形发生器使用DSP控制曝光过程,因此要求DSP程序高效地控制电子束实现图形的高精度扫描。而以往的算法(包括Bresenham算法)无法满足电子束扫描的特殊性,因此提出一种DSP实现曝光的算法。分析了Bresenham算法的缺陷,同时对提出的新算法进行工作效率的理论分析和曝光数据的采集对比,结果证明该算法是一种能够保证精度和效率的算法。同时还探讨了斜矩形不分割的曝光算法。
- 杨浩伟张今朝薛虹
- 关键词：图形发生器DSPBRESENHAM算法
