周光亚
- 作品数：10 被引量：36H指数：4
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 自由空间微光学元件的研制被引量：4
- 1999年
- 介绍了一种新近产生的被称为自由空间微光学平台（ Ｆ Ｓ Ｍ Ｏ Ｂ）的三维空间集成光学系统。并提出了一种用二氧化硅（ Ｓｉ Ｏ２）作光学材料、光刻胶和溅射铜（ Ｃｕ）薄膜作牺牲层、电镀铁镍（ Ｆｅ Ｎｉ）作支撑结构的制作自由空间微光学元件的新工艺。研制成功了多种与基底相垂直的三维位相型微光学元件。
- 周光亚赵小林张明生陈益新王宗光
- 关键词：微机械微细加工微光学二元光学微光机电系统
- 连续面型高效率光栅分束器件的设计被引量：3
- 2000年
- 阐述了用虚源法设计连续面型光栅分束器件的原理 ,提出了一种局部搜索遗传算法 ,并将其用于优化器件的性能。局部搜索遗传算法结合了局部搜索算法和遗传算法的优点 ,可以有效地克服遗传算法的“早熟收敛”现象 ,具有更强的全局收敛能力。用文中给出的方法可以得到具有较好均匀性的、高衍射效率的连续面型光栅分束器件。
- 周光亚赵小林张彤王宗光陈益新
- 关键词：衍射光学衍射光栅
- 微机械可调式光学衰减器的研制
- 本文研制了一种电磁驱动的微机械可调式光学衰减器.该衰减器是利用非硅表面微加工工艺制作的,这种工艺采用光致抗蚀剂和溅射铜薄膜作为牺牲层,电镀铁镍层作为结构层来制作MEMS元件.这种衰减器由电镀铁镍层构成的一个插在两对准光纤...
- 赵小林李文军周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微光机电系统电磁驱动
- 文献传递
- 电磁驱动可调式MEMS光衰减器的光学性能分析
- 设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗和光衰减量进行了分析.
- 李文军赵小林周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微机电系统电磁驱动插入损耗MEMS光学性能光衰减器
- 文献传递
- 电磁驱动微机械可变式光衰减器
- 电磁驱动微机械可变式光衰减器主要包括:光纤定位结构、硅弹簧、铁镍薄片、挡光片和电磁驱动线圈、两部分单模光纤,单模光纤设置于定位结构上表面的V型槽中,定位结构通过下表面的定位槽装配在带有硅弹簧、铁镍薄片和挡光片的硅基片上,...
- 赵小林李文军丁桂甫蔡炳初杨春生周光亚
- 文献传递
- 一种新型微机械硅弹簧的设计与制作被引量：8
- 2001年
- 介绍了一种新型的微机械硅弹簧的设计和制作 ,运用能量方法推导出了弹性常数的计算公式 ,并用有限元模拟分析方法求出了其固有频率。有限元模拟工具AN SYS模拟的结果验证了弹性常数的计算公式 。
- 李文军赵小林蔡炳初周光亚
- 关键词：微机电系统有限元微细加工
- 激光直接写入过程的计算机仿真研究被引量：11
- 1999年
- 基于光刻胶正胶曝光显影过程的理论模型，用梯度折射率介质光线追迹的方法进行了由于局部溶解速率不同而造成的显影过程中胶面面形随时间变化过程的计算。对任意给定的曝光量分布及显影时间，可以精确地确定显影后的面形，为激光直写研究提供了一种有效的工具。同时，通过对显影速率作阈值近似后，导出了光刻胶曝光显影后面形与表面所需曝光量分布之间的关系，为激光直接写入提供了理论指导。
- 周光亚陈益新王宗光王宗光
- 关键词：衍射光学计算机仿真
- 电磁驱动微机械可变式光衰减器
- 电磁驱动微机械可变式光衰减器主要包括：光纤定位结构、硅弹簧、铁镍薄片、挡光片和电磁驱动线圈、两部分单模光纤，单模光纤设置于定位结构上表面的V型槽中，定位结构通过下表面的定位槽装配在带有硅弹簧、铁镍薄片和挡光片的硅基片上，...
- 赵小林李文军丁桂甫蔡炳初杨春生周光亚
- 文献传递
- 电磁驱动MEMS可调式光衰减器的研制被引量：5
- 2000年
- 研制了一种工作在 1 5 5 0nm波长范围内的单模光纤微机械可调式光衰减器。该衰减器利用非硅表面微加工工艺 (这种工艺采用光致抗蚀剂和溅射铜薄膜作为牺牲层 ,电镀铁镍层作为结构层来制作MEMS元件 )制作 ,由电镀铁镍层构成的一个插在两对准光纤空隙中的挡光片 ,一个平面电感线圈 ,一个硅弹簧和二个带有V型槽的光纤对准元件构成。电镀铁镍制作的挡光片被固定在一个硅弹簧上 ,该挡光片采用非硅表面微加工工艺制作 ,平面电感线圈利用高深宽比的光刻工艺和掩蔽电镀工艺制作 ,硅弹簧和光纤对准元件采用反应离子刻蚀和硅的各向异性腐蚀工艺制作。
- 赵小林李文军周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微光机电系统微机械电磁驱动
- 电磁驱动MEMS可调式光衰减器的设计被引量：7
- 2000年
- 设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器。这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减。并对该衰减器的插入损耗、光衰减量以及电磁驱动器的性能进行了分析。
- 赵小林李文军周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微机电系统电磁驱动插入损耗
