李文军
- 作品数：13 被引量：66H指数：5
- 供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心更多>>
- 发文基金：上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 自由空间微机械光开关的设计与制作
- 设计并制作出了一种自由空间微机械单模光开关.该光开关是采用表面微加工技术和体硅微加工工艺制作的.这种光开关采用平面线圈型微电磁执行器驱动一个挡光片,使其切入两根准直单模光纤的光路中从而实现开关功能.并对微电磁执行器的力学...
- 李文军赵小林蔡炳初
- 关键词：MEMS光开关微执行器平面线圈有限元模拟
- 文献传递
- 微机械可调式光学衰减器的研制
- 本文研制了一种电磁驱动的微机械可调式光学衰减器.该衰减器是利用非硅表面微加工工艺制作的,这种工艺采用光致抗蚀剂和溅射铜薄膜作为牺牲层,电镀铁镍层作为结构层来制作MEMS元件.这种衰减器由电镀铁镍层构成的一个插在两对准光纤...
- 赵小林李文军周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微光机电系统电磁驱动
- 文献传递
- ME MS可调式光衰减器性能测试及其分析被引量：1
- 2002年
- 采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器 ,对该衰减器的性能进行了测试 ,并对影响其光学性能的因素作了分析。测试表明 ,该衰减器的插入损耗<3dB ,衰减范围 0～ 4 0dB ,回波损耗 <- 45dB ,衰减精度可达 0 1dB。
- 赵小林李文军蔡炳初戴旭涵
- 关键词：MEMS微机械插入损耗回波损耗
- 一种新型微机械硅弹簧的设计与制作被引量：8
- 2001年
- 介绍了一种新型的微机械硅弹簧的设计和制作 ,运用能量方法推导出了弹性常数的计算公式 ,并用有限元模拟分析方法求出了其固有频率。有限元模拟工具AN SYS模拟的结果验证了弹性常数的计算公式 。
- 李文军赵小林蔡炳初周光亚
- 关键词：微机电系统有限元微细加工
- 一种新型的微机械可变式光衰减器被引量：2
- 2003年
- 介绍了一种新型的连续可变式微机械单模光衰减器的设计与制作。该光衰减器采用电磁型微驱动器驱动一个铁镍合金衰减片 ,使其插入两根准直的单模光纤的间隙中 ,依靠精密地调节衰减片切入光路中的位置而实现对传输光功率的连续衰减。采用硅微细加工技术成功地制作出了这种光衰减器 ,并对微驱动器的性能进行了理论分析。测试结果表明 ,当传输的光波长为 15 5 0nm时 ,该衰减器的平均插入损耗为 2 5dB ,衰减范围为 2 5～ 4 5dB ,回波损耗为 4 0dB。
- 李文军赵小林蔡炳初
- 关键词：微电子机械系统微机械光衰减器平面线圈波分复用
- 电磁驱动可调式MEMS光衰减器的光学性能分析
- 设计了一种由电磁驱动的微机械可调式光衰减器.这种光衰减器是由电磁驱动插在两对准单模光纤间隙中的挡光片来实现光功率的衰减.并对该衰减器的插入损耗和光衰减量进行了分析.
- 李文军赵小林周光亚张明生蔡炳初
- 关键词：微机电系统电磁驱动插入损耗MEMS光学性能光衰减器
- 文献传递
- TiO_2薄膜的光催化特性被引量：21
- 2002年
- 低压下利用四异丙醇钛水解法制备了 Ti O2 薄膜 ,将 Ti O2 固定化并尽可能保留其尺寸效应 .联系制膜条件和膜的表性 ,研究了 Ti O2 薄膜的光催化活性 .利用 Raman、XRD、AFM和 UV-vis等手段探讨了不同膜厚、晶型、衬底对膜催化活性的影响 .结果表明 ,随着衬底温度的升高 ,Ti O2由非晶型转变为锐钛矿 ,光催化活性提高 ;随着 Ti O2 薄膜厚度的增加 ,催化活性降低 .在玻片、Si、Sn O2 、Al为基片所制 Ti O2 薄膜中 ,以 Al为基片的 Ti O2
- 李文漪李文军武正簧赵君芙孙彦平蔡珣
- 关键词：TIO2光催化特性二氧化钛
- MEMS可变式光衰减器的研究现状及其在全光网中的应用
- 全光通信网的功率管理对光衰减器的体积,成本,工作方式都提出了较高的综合性能要求.基于MEMS技术的可变式光衰减器充分结合了微机械、微电子、微光学的性能特点,最有希望满足上述综合性能要求,具有广阔的市场前景.文章介绍了目前...
- 戴旭涵赵小林蔡炳初李文军
- 关键词：可变式光衰减器微机电系统全光通信网MEMS
- 文献传递
- 微光机电系统及其应用被引量：11
- 2001年
- 微光机电系统 (MOEMS)是在微机电系统 (MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统 ,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型的微光学结构系统 ,MOEMS在信息、军事、航天、医学、工业等领域有着广阔的应用前景 ,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。
- 李文军赵小林蔡炳初戴旭涵
- 关键词：微光机电系统微光学微驱动器微机电系统
- 微型电磁驱动器中微小电磁力的研究被引量：5
- 2002年
- 设计了一种应用于微机电系统中的微型电磁驱动器。该微驱动器主要由平面正方形线圈、弹性支撑和坡莫合金薄片构成。采用微细加工技术成功地制作出了这种微驱动器。该驱动器具有较大的驱动力和行程 ,适用于在垂直方向上需要较大偏转的微机电系统中。研究了平面线圈对坡莫合金磁体的微小作用力 ,并用有限元模拟软件ANSYS 。
- 李文军赵小林蔡炳初
- 关键词：平面线圈微机电系统有限元
