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刘世良

作品数：12 被引量：19H指数：2
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”更多>>
相关领域：理学化学工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 7篇期刊文章
  • 4篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 9篇衬底
  • 4篇单晶
  • 4篇淀积
  • 4篇脉冲激光
  • 4篇脉冲激光淀积
  • 4篇晶体
  • 4篇激光淀积
  • 4篇SUB
  • 3篇单晶薄膜
  • 3篇提拉法
  • 3篇复合衬底
  • 2篇退火
  • 2篇脉冲激光沉积
  • 2篇晶体生长
  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 2篇光学
  • 2篇覆盖层
  • 2篇镓
  • 2篇GAN

机构

  • 12篇中国科学院上...

作者

  • 12篇刘世良
  • 11篇徐军
  • 11篇周圣明
  • 10篇王银珍
  • 9篇彭观良
  • 9篇李抒智
  • 6篇邹军
  • 4篇周国清
  • 3篇杨卫桥
  • 2篇苏凤莲
  • 2篇庄漪
  • 2篇干福熹
  • 1篇赵志伟
  • 1篇赵广军
  • 1篇司继良
  • 1篇夏长泰
  • 1篇杭寅

传媒

  • 6篇人工晶体学报
  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2007
  • 3篇2006
  • 6篇2005
  • 2篇2004
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
γ-LiAlO_2晶体的生长及掺镓研究被引量：3
2005年
由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γLiAlO2单晶有望成为GaN外延衬底材料。本文首先使用提拉法生长出了尺寸达45×50mm3的γLiAlO2单晶,然后采用Ga2O3作为掺杂剂,仍用提拉法生长出了三种不同掺镓浓度的LiAl1 xGaxO2(x=0.1,0.2,0.3)晶体,并用X射线粉末衍射(XRPD)分别对晶体及坩锅中剩余的熔体的成份进行了表征。结果表明LiAl1 xGaxO2(x=0,0.1,0.2,0.3)晶体归属于γLiAlO2结晶结构,Ga3+离子部分地取代Al3+离子,发生分凝且分凝系数小于1。
彭观良庄漪邹军王银珍刘世良周国清周圣明徐军干福熹
关键词：晶体生长提拉法
表面处理对蓝宝石衬底的影响被引量：14
2005年
蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底。本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响。结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。
王银珍彭观良刘世良李抒智邹军周圣明徐军
关键词：蓝宝石衬底表面处理
MgIn<Sub>2</Sub>O<Sub>4</Sub>/MgAl<Sub>2</Sub>O<Sub>4</Sub>复合衬底材料及其制备方法
一种MgIn<Sub>2</Sub>O<Sub>4</Sub>/MgAl<Sub>2</Sub>O<Sub>4</Sub>复合衬底材料及其制备方法，该复合衬底材料是在MgAl<Sub>2</Sub>O<Sub>4</Su...
周圣明徐军李抒智杨卫桥彭观良周国清司继良杭寅赵广军刘世良邹军赵志伟
文献传递
气相传输平衡法在(11-20)面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜
2006年
为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底,通过48 h的气相传输平衡,分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示,γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度,在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向;在γ铝酸锂(001)面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成;γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下,气相传输平衡法制备的γ铝酸锂/蓝宝石可能成为一种很有前景且适合(1-100)面氮化镓生长的复合衬底。
刘世良周圣明李抒智王银珍徐军
关键词：薄膜光学复合衬底
在γ－LiAlO<Sub>2</Sub>衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法
一种在γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法，包括如下具体步骤：&lt;1&gt;将清洗的双面抛光或单面抛光的γ－LiAlO<Sub>2</Sub>衬底及纯度优于99.99％的ZnO单晶...
邹军周圣明徐军夏长泰苏凤莲李抒智彭观良王银珍刘世良
文献传递
c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)
2005年
采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相-γL iA lO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对-γL iA lO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响-γL iA lO2层质量的重要因素。要制备高质量的-γL iA lO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,-γL iA lO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。
彭观良李抒智庄漪邹军王银珍刘世良周国清周圣明徐军干福熹
关键词：GAN衬底
宽禁带半导体衬底材料及ZnO薄膜的制备研究
GaN基宽禁带半导体材料在高亮度发光二极管、短波长半导体激光器、紫外光探测器、高温高功率电子器件等领域有着广泛的应用。ZnO作为另一种直接带隙的宽禁带材料，由于室温下激子束缚能高达60meV，是继GaN之后光电研究领域的...
刘世良
关键词：氧化锌薄膜提拉法晶体生长
提拉法生长镓酸锂晶体及缺陷研究被引量：1
2006年
研究了提拉法生长的镓酸锂单晶的生长习性和结晶质量。晶体表面呈乳白色且表面粗糙。通过光学显微镜、四晶X射线衍射、透射光谱和电感耦合等离子体发射光谱对样品进行了表征,结果表明,在(001)面的抛光样品上存在三种缺陷:[110]和[-110]方向的十字线、[010]方向排列的气泡包裹物以及平行于(010)面的界面,界面的产生起因于(010)晶面的滑移;晶体的结晶质量从顶部到底部逐渐下降,这是由于在生长过程中氧化锂的挥发导致熔体成分偏离化学计量比造成的。
刘世良周圣明王银珍徐军
关键词：单晶提拉法
脉冲激光沉积制备γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法
一种脉冲激光沉积制备γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法，首先是γ-LiAlO<Sub>2</Sub>的制备，然后利用脉冲激光淀积将γ-LiAlO<Sub>2</Sub>靶材的表层分子熔蒸出来，...
王银珍徐军周圣明杨卫桥李抒智彭观良刘世良
文献传递
脉冲激光沉积制备γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法
一种脉冲激光沉积制备γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法，首先是γ－LiAlO<Sub>2</Sub>的制备，然后利用脉冲激光淀积将γ－LiAlO<Sub>2</Sub>靶材的表层分子熔蒸出来，...
王银珍徐军周圣明杨卫桥李抒智彭观良刘世良
文献传递
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