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王银珍

作品数：24 被引量：69H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：中国科学院“百人计划”国家高技术研究发展计划美国国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信金属学及工艺化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 11篇期刊文章
  • 11篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 9篇理学
  • 3篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 11篇衬底
  • 8篇蓝宝
  • 7篇单晶
  • 6篇单晶薄膜
  • 6篇晶体
  • 6篇蓝宝石
  • 6篇SUB
  • 5篇芯片
  • 5篇覆盖层
  • 3篇氮化
  • 3篇氮化物
  • 3篇淀积
  • 3篇退火
  • 3篇气相
  • 3篇中子
  • 3篇中子辐照
  • 3篇温梯法
  • 3篇脉冲激光
  • 3篇脉冲激光淀积
  • 3篇化物

机构

  • 24篇中国科学院上...
  • 2篇加州理工学院

作者

  • 24篇王银珍
  • 23篇徐军
  • 23篇周圣明
  • 15篇彭观良
  • 12篇邹军
  • 12篇周国清
  • 11篇李抒智
  • 10篇刘世良
  • 7篇杨卫桥
  • 6篇蒋成勇
  • 6篇张俊计
  • 6篇邓佩珍
  • 5篇庄漪
  • 4篇刘士良
  • 4篇夏长泰
  • 3篇张连翰
  • 2篇吴锋
  • 2篇赵广军
  • 2篇苏凤莲
  • 2篇王海丽

传媒

  • 8篇人工晶体学报
  • 1篇Journa...
  • 1篇光学学报
  • 1篇无机材料学报

年份

  • 2篇2007
  • 7篇2006
  • 10篇2005
  • 5篇2004
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
γ-LiAlO_2晶体的生长及掺镓研究被引量：3
2005年
由于与GaN晶格失配小(约1.4%),γLiAlO2单晶有望成为GaN外延衬底材料。本文首先使用提拉法生长出了尺寸达45×50mm3的γLiAlO2单晶,然后采用Ga2O3作为掺杂剂,仍用提拉法生长出了三种不同掺镓浓度的LiAl1 xGaxO2(x=0.1,0.2,0.3)晶体,并用X射线粉末衍射(XRPD)分别对晶体及坩锅中剩余的熔体的成份进行了表征。结果表明LiAl1 xGaxO2(x=0,0.1,0.2,0.3)晶体归属于γLiAlO2结晶结构,Ga3+离子部分地取代Al3+离子,发生分凝且分凝系数小于1。
彭观良庄漪邹军王银珍刘世良周国清周圣明徐军干福熹
关键词：晶体生长提拉法
表面处理对蓝宝石衬底的影响被引量：14
2005年
蓝宝石衬底是目前最为普遍的一种衬底材料,是生长GaN、ZnO材料最常用的衬底。本文用光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和高分辨X射线双晶洐射对蓝宝石衬底进行了分析测试,系统研究了经过机械抛光、化学机械抛光、化学腐蚀等表面处理对蓝宝石衬底表面性能的影响。结果表明经过化学机械抛光随后再经腐蚀后的蓝宝石衬底的表面性能最好。
王银珍彭观良刘世良李抒智邹军周圣明徐军
关键词：蓝宝石衬底表面处理
脉冲激光沉积制备γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法
一种脉冲激光沉积制备γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的方法，首先是γ-LiAlO<Sub>2</Sub>的制备，然后利用脉冲激光淀积将γ-LiAlO<Sub>2</Sub>靶材的表层分子熔蒸出来，...
王银珍徐军周圣明杨卫桥李抒智彭观良刘世良
文献传递
具有γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的制备方法
一种具有γ-LiAlO<Sub>2</Sub>单晶薄膜覆盖层衬底的制备方法，其步骤：先合成制备γ-LiAlO<Sub>2</Sub>靶材，然后利用射频磁控溅射方法在α-Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub...
夏长泰王银珍周圣明张连翰徐军
文献传递
气相传输平衡法在(11-20)面蓝宝石上制备γ铝酸锂膜
2006年
为了寻找可能替代蓝宝石作为氮化镓外延的新型衬底,通过48 h的气相传输平衡,分别在1000℃、1030℃、1050℃、1070℃和1100℃制备了一层单相多晶的γ铝酸锂膜。X射线衍射和扫描电镜分别用于表征膜的物相、取向和表面形貌。结果显示,γ铝酸锂择优取向的好坏取决于气相平衡传输温度,在1050℃制备的γ铝酸锂具有高度的[100]择优取向;在γ铝酸锂(001)面上的双轴拉应力可能有助于[100]择优取向的形成;γ铝酸锂晶粒表面裂纹的方向一致性与其择优取向紧密相关。上述结果表明在合适的工艺条件下,气相传输平衡法制备的γ铝酸锂/蓝宝石可能成为一种很有前景且适合(1-100)面氮化镓生长的复合衬底。
刘世良周圣明李抒智王银珍徐军
关键词：薄膜光学复合衬底
在γ－LiAlO<Sub>2</Sub>衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法
一种在γ－LiAlO<Sub>2</Sub>单晶衬底上制备ZnO单晶薄膜的方法，包括如下具体步骤：&lt;1&gt;将清洗的双面抛光或单面抛光的γ－LiAlO<Sub>2</Sub>衬底及纯度优于99.99％的ZnO单晶...
邹军周圣明徐军夏长泰苏凤莲李抒智彭观良王银珍刘世良
文献传递
蓝宝石基氮化物芯片的划片方法
一种蓝宝石基氮化物芯片的划片方法，包括下列步骤：根据划片的要求采用铅板制造出中间有若干狭缝的辐照挡板；将已生长GaN的蓝宝石晶体背面与辐照挡板贴紧，采用Co<Sup>60</Sup>进行Gamma射线辐照，辐照剂量约为1...
徐军蒋成勇周圣明杨卫桥周国清王银珍彭观良邹军刘士良张俊计邓佩珍
文献传递
蓝宝石基氮化物芯片减薄划片的方法
一种蓝宝石基氮化物芯片的减薄划片方法，包括下列步骤：成对地将蓝宝石基氮化物芯片贴成氮化物芯片夹心饼；将氮化物芯片夹心饼送入铂金坩埚并置于或悬于铂金丝上，在该坩埚内，放置带气孔的γ－LiAlO<Sub>2</Sub>和Li...
徐军彭观良周圣明周国清蒋成勇王海丽李抒智赵广军张俊计刘军芳邹军王银珍吴锋庄漪
文献传递
c面白宝石衬底表面形貌对气相传输平衡法制备的γ-LiAlO_2层质量的影响(英文)
2005年
采用气相传输平衡(VTE)技术,在(0001)面白宝石衬底表面上成功地制备出单相-γL iA lO2层。研究了白宝石衬底表面形貌对-γL iA lO2层质量的影响,发现白宝石衬底的表面粗糙度和退火处理是两个影响-γL iA lO2层质量的重要因素。要制备高质量的-γL iA lO2层,适度的表面粗糙度是恰当的。对白宝石衬底进行退火处理,-γL iA lO2层的择优取向变差。并对其中可能的机理进行了探讨。
彭观良李抒智庄漪邹军王银珍刘世良周国清周圣明徐军干福熹
关键词：GAN衬底
温梯法生长大尺寸蓝宝石晶体的脱碳去色退火研究(英文)
2006年
温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)生长的Al_2O_3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(110×80mm3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即“两步法”退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高.
徐军周国清邓佩珍司继良钱小波王银珍周圣明周永宗朱人元
关键词：脱碳退火
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