冯亚林
- 作品数：18 被引量：80H指数：5
- 供职机构：天津大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
- 基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法
- 本发明公开了一种基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、Mirau干涉仪、相移控制器、频闪照明驱动装置、LED阵列、MEMS结构运动激励装置组成，其特征在于：光源采用二极管阵列，且每...
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- 文献传递
- 基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法
- 本发明公开了一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机组成，其特征在于：光源采用高亮发光二极管，并辅以恒流驱动电路；MEMS运动驱...
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- 文献传递
- 基于模糊图像合成的微结构平面运动测量技术
- 2003年
- 动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用。本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上 ,基于模糊图像合成技术对MEMS谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率 f及品质因数Q等重要参数进行了测试 ,并给出了实验结果。
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- 关键词：微电子机械系统模糊图像谐振器谐振频率
- MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战
- 高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义。本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干关键技术,提出了目前...
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- 关键词：测试技术微系统
- 文献传递
- 小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用被引量：1
- 2004年
- 为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数,根据MEMS谐振器运动图像的特点,将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中。基于模糊图像合成技术,利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理,并结合传统的图像处理方法,提取MEMS谐振器的运动轨迹,最终获得了MEMS谐振器的特性参数,从而可为MEMS器件的设计提供重要参考。实验结果表明,利用小波变换的方法获得了更好的测量精度,测量重复性误差为100nm。
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- 关键词：特征提取小波变换模糊图像图像增强图像降噪
- 基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法
- 本发明公开了一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法。所述的装置主要包括由光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机组成，其特征在于：光源采用高亮发光二极管，并辅以恒流驱动电路；MEMS运动驱...
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- 文献传递
- MEMS可靠性技术被引量：10
- 2002年
- MEMS的可靠性是其能否成功应用的一个关键。本文对MEMS可靠性测试的要求与可靠性测试系统ShiMMeR进行了分析,通过对MEMS的可靠性实验与失效模型的综述,对MEMS的可靠性设计进行了探讨。
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- 关键词：MEMS可靠性
- MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战被引量：1
- 2002年
- 高性能的测试系统对MEMS的研究和开发具有重大的现实意义.本文结合MEMS共性特性的测试需求,通过讨论部分典型的MEMS测试系统,阐述了MEMS测试系统的研究现状,分析了构建MEMS测试系统所需的若干关键技术,提出了目前MEMS测试领域面临的一些主要挑战.
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- 关键词：MEMS测试系统可靠性
- 基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术被引量：7
- 2005年
- 为了对MEMS的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建MEMS动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.
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- 关键词：微机电系统模糊图像光学检测亚像素
- 基于模糊图像合成技术的MEMS平面微运动测试技术被引量：3
- 2004年
- 随着微电子机械系统 (MEMS)研究的深入和产业化的需求 ,检测技术在其中的重要性越来越大 .基于机器微视觉的MEMS动态测试系统 ,利用模糊图像合成技术对MEMS的平面微运动特性参数进行提取和分析 .利用图像处理方法对MEMS谐振器做扫频和扫压测量 ,获得了MEMS器件的平面微运动特性 ,并对测量结果进行了分析和讨论 .由实验结果可以看出 ,这种方法有较高的测量精度 ,测量重复性误差为 10 0nm .
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- 关键词：微电子机械系统谐振器
