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中国科学院微电子中心
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刘明
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李友
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刘明
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供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:电子束 电子束曝光 集成电路 电子束曝光机 抗蚀剂
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姜明哲
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研究主题:专用集成电路 大规模集成电路 LCD显示器 变换器 控制器
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李素杰
作品数:4
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供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:专用集成电路 大规模集成电路 变换器 控制器 电路结构设计
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李友
作品数:3
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供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:抗蚀剂 微细加工 电子束曝光 GDS CIF格式
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张建宏
作品数:3
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供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:电子束曝光 电子束曝光机 抗蚀剂 微细加工 MONTE_CARLO方法
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徐秋霞
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研究主题:大晶粒 超薄氧化层 场效应器件 氧化层 CMOS电路
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陆晶
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研究主题:移相掩模 移相 线条 电子束曝光机 电子束
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魏珂
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研究主题:X光图像 编码器 高能 高分辨率 孔径
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钟贵昌
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研究主题:电路结构 实用化
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王宗英
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供职机构:中国科学院微电子中心
研究主题:LED芯片 GAN 干法刻蚀 光输出
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