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中国科学院微电子中心

作品数：45 被引量：53H指数：5
相关作者：刘明姜明哲李素杰张建宏李友更多>>
相关机构：山东大学北京大学中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程核科学技术更多>>

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共 38 条 记 录，以下是 1-10
刘明
作品数：8被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束 电子束曝光 集成电路 电子束曝光机 抗蚀剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜明哲
作品数：5被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：专用集成电路 大规模集成电路 LCD显示器 变换器 控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李素杰
作品数：4被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：专用集成电路 大规模集成电路 变换器 控制器 电路结构设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李友
作品数：3被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：抗蚀剂 微细加工 电子束曝光 GDS CIF格式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建宏
作品数：3被引量：16H指数：1
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电子束曝光 电子束曝光机 抗蚀剂 微细加工 MONTE_CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐秋霞
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：大晶粒 超薄氧化层 场效应器件 氧化层 CMOS电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
作品数：2被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：移相掩模 移相 线条 电子束曝光机 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏珂
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：X光图像 编码器 高能 高分辨率 孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟贵昌
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：电路结构 实用化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王宗英
作品数：1被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子中心
研究主题：LED芯片 GAN 干法刻蚀 光输出
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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