华中科技大学微系统研究中心
- 作品数：24 被引量：158H指数：7
- 相关作者：王景道马泽涛吴大海袁忠发余柏林更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划湖北省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
- 电镀方法制备锡铅焊料凸点被引量：5
- 2004年
- 介绍了利用甲磺酸锡铅合金镀液制备电镀凸点的工艺过程 ,讨论了影响电镀质量的工艺参数 :表面光亮度、分散及覆盖能力、沉积速率等 .研究发现 ,电流密度Dk 与最低搅拌转速密切相关 .在相同的时间里 ,Dk越大 ,镀液的分散能力越稳定 ,合金的沉积速率也越高 .在甲磺酸质量分数、Dk 一定的条件下 ,适当地提高搅拌转速有利于改善凸点的电镀质量 .对电镀凸点的剪切强度测试表明 。
- 郑宗林吴懿平吴丰顺张金松
- 关键词：倒装芯片技术电镀锡铅合金甲磺酸
- 高频六轴亚微米材料力学实验机
- 该成果针对传统的力学试验机不能满足微机械等微小样品的测试需要，研究开发的一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密工作台、六轴力传感器、加温箱和计算机控制系统。其中，六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流伺...
- 关键词：
- 关键词：计算机控制
- 冲击试验机原理及其设计
- 针对当今手持式微机械电子产品,本文介绍了所设计的冲击试验机的原理及其结构,该机主要由硬件设备和软件控制两部分组成,可以获得冲击力、加速度等动态力学参数,反应微电子产品的耐冲击能力.这些数据可为手持式微机械电子产品的可靠性...
- 汪学方马斌任继文刘胜张鸿海吕民富
- 关键词：冲击试验机可靠性
- 芯片键合胶残余应力检测的实验研究
- 通过检测受键合胶残余应力影响的芯片表面的翘曲特征和力学特性,使用泰曼-格林干涉仪与力学实验机相结合,成功地分析了在采用粘胶键合中,粘胶硬化后残余应力对芯片的影响以及产生的原因,对键合胶的选择提出了科学的依据.本文对这种方...
- 马斌张鸿海刘胜汪学方王志勇
- 关键词：干涉法残余应力
- 胰岛素泵的研制被引量：5
- 2005年
- 随着人民生活水平的不断提高,糖尿病的患者日益增多,胰岛素泵作为当今治疗糖尿病的最好手段之一,费用过高阻碍了它在国内的推广。华中科技大学微系统研究中心开发出具有自主知识产权的胰岛素泵,采用微处理器编程模拟人体胰腺分泌功能,精确控制注射胰岛素,具有使用方便、安全、稳定的优点。
- 马斌曾艳杜佐华甘志银刘胜张鸿海王志勇汪学方
- 关键词：糖尿病胰岛素泵控释
- 各向异性导电胶膜新型填充粒子的研究被引量：13
- 2005年
- 用分散聚合法合成了直径为3μm左右的聚苯乙烯核,在核表面化学镀形成带小突起的镍合金导电层,制成ACF新型填充粒子,对聚合物核做了粒径分布、比表面积测试,对核以及导电微球做了环境扫描电镜(ESEM)测试。结果表明:制备的导电微球密度小,呈单分散,镀层结构致密,镀层表面形成了近球形、锥形及其它不定形突起。这些突起可以刺穿电极的氧化膜。实践证明通过控制工艺参数实现控制镀层结构是一条可行方法。
- 吴懿平袁忠发吴大海吴丰顺安兵
- 关键词：电子技术化学镀
- 一种用于MEMS器件真空密封技术的电阻熔焊方法
- 2008年
- 提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法。低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一。通过研制的真空电阻熔焊机,设计带缓冲腔的封装外壳,实现了MEMS器件真空密封。试验结果表明,封装好的器件具有长时间真空保持性。
- 王成刚汪学方甘志银林栋张鸿海刘胜
- 关键词：MEMS电阻焊
- 应用于汽车的流量传感器研究被引量：5
- 2008年
- 研究了横膈膜式热膜流量传感器,横膈膜采用多层薄膜结构,增加其机械强度,同时保持其较低的横向热导率。模拟了横膈膜上温度的分布,分析了在不同流速下各点的温度变化。通过实验和理论模拟,得到了比较一致的结论:在低流速下,上游的冷却作用使温度明显下降,而下游的温度增加;上下游的温度差变化比较明显;随着流速增加到一定程度时,各种变化趋势变缓,上游远端甚至出现温度饱和现象,由于空气流速也对所有的芯片表面有冷却作用,下游远端也出现温度略微下降的现象,导致了上下游的温度差增加趋势变缓。因此,通过远端的电阻温度变化反映出来的流量量程较小。本研究中在加热电阻上游和下游放置两对测试电阻,提高传感器的精度和增加其量程。叠加信号电压相比单个的输出明显加强,单个信号的最大值为15.7mV,而叠加后的信号增强到28.6mV。同时叠加后的测试量程也得到拓宽。
- 余柏林甘志银罗小兵曹蕙徐静平
- 关键词：流量传感器多层膜
- 红外激光局部加热温度场的有限元模拟
- 2003年
- 周宏赖建军邓谦易新建刘胜
- 关键词：温度场有限元模拟热键合
- 微型柔性剪切应力传感器的制作研究被引量：7
- 2005年
- 利用微机电系统(MEMS)技术,制作了一种新型传感器阵列。首先,在刚性衬底上制作了一种8×8切应力传感器阵列,然后,利用硅岛阵列技术制作了一种柔性结构。试验结果表明:所制作的柔性传感器阵列经多次弯扭循环后,电阻值基本没有变化,柔性传感器在经过弯扭3300次后,传感器本身的柔性材料并没有断。
- 陈四海汪殿民朱福龙徐涌易新建
- 关键词：微机电系统
