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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室

作品数:162 被引量:351H指数:9
相关作者:金庆辉葛玉卿白亚楠黎晓林李伟更多>>
相关机构:宁波大学信息科学与工程学院北京航空航天大学生物与医学工程学院山东大学光学高等研究中心更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信理学机械工程更多>>

文献类型

  • 139篇期刊文章
  • 22篇会议论文

领域

  • 57篇自动化与计算...
  • 42篇电子电信
  • 30篇理学
  • 19篇机械工程
  • 14篇一般工业技术
  • 13篇环境科学与工...
  • 13篇医药卫生
  • 7篇生物学
  • 3篇化学工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇动力工程及工...
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇农业科学
  • 1篇自然科学总论

主题

  • 41篇传感
  • 39篇感器
  • 39篇传感器
  • 16篇加速度
  • 14篇电极
  • 13篇MEMS
  • 12篇微流控
  • 12篇细胞
  • 11篇加速度计
  • 10篇微流控芯片
  • 10篇红外
  • 9篇纳米
  • 8篇阵列
  • 8篇水质
  • 8篇微机电系统
  • 8篇芯片
  • 8篇机电系统
  • 7篇电化学
  • 7篇微电子
  • 7篇微电子机械

机构

  • 161篇中国科学院
  • 47篇中国科学院大...
  • 21篇中国科学院研...
  • 12篇宁波大学
  • 9篇上海大学
  • 7篇北京航空航天...
  • 7篇上海师范大学
  • 6篇福州大学
  • 5篇山东大学
  • 5篇上海科技大学
  • 4篇复旦大学
  • 3篇大连医科大学
  • 3篇华东师范大学
  • 3篇浙江大学
  • 3篇浙江理工大学
  • 2篇北京信息科技...
  • 2篇电子科技大学
  • 2篇上海理工大学
  • 2篇郑州大学
  • 2篇能讯传感技术...

作者

  • 40篇金庆辉
  • 30篇赵建龙
  • 23篇王跃林
  • 21篇李昕欣
  • 12篇李铁
  • 10篇吴亚明
  • 9篇毛红菊
  • 8篇郭慧
  • 8篇车录锋
  • 7篇孙艳
  • 7篇杨尊先
  • 7篇金妍
  • 7篇杨恒
  • 7篇贾春平
  • 6篇徐静
  • 6篇赵辉
  • 6篇赵峰
  • 6篇葛玉卿
  • 5篇于映
  • 5篇焦继伟

传媒

  • 24篇传感器与微系...
  • 12篇传感技术学报
  • 7篇微纳电子技术
  • 6篇仪表技术与传...
  • 6篇功能材料与器...
  • 5篇半导体技术
  • 5篇Journa...
  • 4篇分析化学
  • 4篇中国组织工程...
  • 4篇2016中国...
  • 3篇高等学校化学...
  • 3篇红外与毫米波...
  • 3篇无线通信技术
  • 3篇电子设计工程
  • 2篇生命科学
  • 2篇光学精密工程
  • 2篇仪器仪表学报
  • 2篇中国激光
  • 2篇分析测试学报
  • 2篇化学传感器

年份

  • 2篇2024
  • 6篇2023
  • 6篇2022
  • 8篇2021
  • 9篇2020
  • 4篇2019
  • 5篇2018
  • 11篇2017
  • 21篇2016
  • 9篇2015
  • 17篇2014
  • 10篇2013
  • 9篇2012
  • 12篇2011
  • 4篇2010
  • 4篇2009
  • 6篇2008
  • 6篇2007
  • 4篇2006
  • 3篇2005
162 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于微流控芯片三维细胞团的构建和培养被引量:3
2020年
采用微加工工艺制作了一种构建多细胞团的聚二甲基硅氧烷(PDMS)双层结构的芯片,可用于药物筛选和术后个体化治疗。该芯片包含细胞培养微孔阵列以及用于生成浓度梯度的多通道分流结构。实验结果表明:在微孔的限制及其表面抗吸附的双重作用下,能够促进细胞聚集形成直径大约为130μm的三维细胞团,其结构稳定,活性良好(存活率约80%),在生物医药和临床医学领域具有良好的应用前景。
乔苗苗刘婷金庆辉杨红葛玉卿葛玉卿
关键词:微流控芯片微孔表面修饰
集成式多参数水质监测光学传感器研制
水质监测是环境科学中的一项重要课题,水质监测能够为水污染的预防和治理提供数据依据,复杂而严峻的水污染形势对水质监测的技术提出了新的要求.紫外分光光度法提供了一种新的水质监测方法,其具有简便高效、无二次污染等优点.本文介绍...
刘思乡范卫华赵辉王帅超金庆辉
关键词:光学传感器紫外分光光度法技术参数
文献传递
基于Android的便携式水质检测仪器的研制被引量:6
2016年
针对水质检测的发展以及水资源保护的需求,提出了基于Android设备的便携式水质检测仪器,仪器主要由传感器探头、下位数据采集、存储、处理设备和Android智能设备端组成。结果表明,该仪器对COD和DO的线性检测范围分别为0~60 mg·L^(-1)和4.5~13 mg·L^(-1),且重复性良好,CV值分别为2.20%和1.73%。仪器被成功应用于实际水样的检测中,检测结果基本准确,满足水质检测的技术要求,有一定的参考价值。
李宫郭慧赵辉赵建龙贾春平金庆辉
关键词:水质检测ANDROIDCODDO便携
单根铜纳米线在超高悬空微动电极上的微滴定介电泳装配研究
2014年
研究单纳米线拉伸动态特性及原子链拉伸的制造,掌握其在拉伸状态下的动态特性变化和单原子链状态下的特殊性质以向原子器件制造方向发展,是目前纳米科学的前沿研究课题之一.但目前没有一套有效的方案来实现将单根纳米线置于可拉伸的微动机构上进行拉伸,制约了该方向的发展.本文借助微电子机械系统(MEMS)技术制造的纳米线拉伸特殊微动机构芯片进行研究,并针对特殊微动芯片悬空电极极度超高且亲水性好,而无法依靠常规介电泳工艺实现纳米线装配的特殊难题,使用了六甲基二硅氮烷进行了疏水处理的方式解决.同时研制出了特殊的微滴定介电泳实验平台与技术工艺,实现单根纳米线在极超高微电极上的有效精确装配,为最终实现纳米线的拉伸及原子链拉伸制造研究迈出最关键的一步.为了指导微滴定介电泳装配单根纳米线的实验,利用有限元方法对微滴定介电泳进行了仿真计算与分析.
黄超雷曾鸿江田孝军刘杰董再励李铁王跃林
关键词:原子链
基于Android平台的便携式痕量重金属离子检测仪的研制被引量:13
2015年
基于Android平台,设计了一种用于痕量重金属离子检测的便携式电化学分析检测仪。仪器输出电压范围为-3-3 V,精度为0.1%,分辨率〈1 mV;电流检测范围为-10-10 mA,精度为0.1%,最小分辨率为10 pA,已达到普通电化学分析的要求。借助Android智能设备在人机交互方面的优势,仪器设有专业检测模式与快速检测模式,简化了复杂的电化学检测分析过程,可同时满足专业用户与普通用户的操作需求。使用本仪器,并结合商品化的电极对Cu, Cd, Pb及Hg等常见的重金属离子进行了初步检测,线性范围、重复性及结果准确度方面都获得了满意的结果。
黄善洛金妍郭慧蔡奇杜晓薇金庆辉赵建龙
关键词:ANDROID平台重金属离子电化学分析仪
液栅型石墨烯场效应管的缓冲液浓度和pH响应特性
2015年
本文使用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)石墨烯制作了高灵敏度、低噪声的液栅型石墨烯场效应管(Solution-Gated Graphene Field Effect Transistors,SGFETs),并测试了该器件对磷酸盐缓冲液(Phosphate Buffered Saline,PBS)浓度和p H的响应特性.随缓冲液浓度的增大,SGFETs转移特性曲线的最小电导点向左偏移,偏移量与溶液浓度的自然对数呈线性关系.随p H的增大,其最小电导点向右偏移,偏移量与溶液p H呈线性关系.该响应特性对石墨烯生化传感器排除外界影响因素有一定的指导作用.
杜晓薇成霁郭慧金庆辉赵建龙
横向电磁式振动能量采集器的设计与制作被引量:10
2013年
基于微机电系统(MEMS)设计了一种结构新颖的横向电磁式振动能量采集器,用于把周围环境中振动的机械能转化为电能。该能量采集器主要由两块长方形永磁体、螺旋铜线圈、质量块-弹性梁振动系统及衬底等构成。选用有限元分析软件对器件结构参数进行了仿真分析与优化,并利用电镀技术制作螺旋铜线圈,KOH湿法腐蚀和深反应离子刻蚀(DRIE)技术制作质量块-弹性梁振动系统,然后与永磁体一起组成了体积大约为100mm3的能量采集器样机。对制作好的电磁式振动能量采集器样机的振动特性测试表明:质量块-弹性梁振动系统的一阶固有频率为241Hz;在频率为241Hz、加速度为2.8ms-2的外界振动激励下,负载两端产生的交流电压峰峰值为9.2mV。另外调节质量块和弹性梁的参数,还可以得到不同固有频率的能量采集器。该能量采集器实现了从机械能到电能的转化,对无线传感器件的发展和应用很有意义。
李伟车录锋王跃林
应力型微悬臂梁生化传感器响应机理研究进展被引量:2
2014年
针对静态微悬臂梁表面特异性结合产生表面应力信号的响应机制问题,介绍了微悬臂梁生化传感器的工作原理,阐述了应力响应机制的简化模型,从纵向界面上和横向分子间2个方面对特异性吸附引起的悬臂梁表面应力的变化进行了剖析,讨论了界面能变化、位阻作用、静电力、氢键作用等与表面应力大小及方向之间的关系,总结了应力型微悬臂梁生化传感器的响应机理的研究。
杨天天
关键词:微悬臂梁生化传感器表面应力
基于金硅腐蚀自停止技术的亚微米梁制作研究被引量:2
2008年
提出了利用无电极电化学腐蚀自停止技术制作亚微米梁结构的新工艺方法。根据金硅腐蚀自停止现象发生的条件,结合硅材料的各向异性腐蚀特性,设计器件结构,利用腐蚀暴露面积变化实现了硅的选择性自停止腐蚀。在(111)型硅片上利用原电池钝化效应一次性腐蚀出与衬底绝缘,由约4μm厚的金电极支撑,厚度约为235 nm的亚微米梁结构,具有制作简单、成品率高、成本低等特点,应用前景广阔。
陆荣陆松涛杨恒
关键词:电化学腐蚀原电池
两维碰撞加速度传感器及其实用化
基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500g的量程下,灵敏度达到0.3mV/g/5V,固...
周伟刘民姜伟李昕欣
关键词:加速度传感器
文献传递
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