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成都士兰半导体制造有限公司

作品数：47 被引量：4H指数：1
相关机构：杭州士兰集成电路有限公司杭州士兰微电子股份有限公司华中科技大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺经济管理更多>>

合作机构

文献类型

  • 39篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 4篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇经济管理

主题

  • 17篇半导体
  • 13篇外延层
  • 11篇二极管
  • 7篇沟槽
  • 7篇衬底
  • 6篇阻挡层
  • 6篇刻蚀
  • 6篇刻蚀工艺
  • 6篇半导体器件
  • 6篇掺杂
  • 5篇功率模块
  • 5篇恒流
  • 5篇恒流二极管
  • 5篇承片台
  • 4篇多晶
  • 4篇晶体
  • 4篇化学机械抛光
  • 4篇机械抛光
  • 4篇光刻
  • 3篇单晶

机构

  • 43篇成都士兰半导...
  • 12篇杭州士兰集成...
  • 3篇华中科技大学
  • 3篇杭州士兰微电...
  • 2篇成都集佳科技...

传媒

  • 2篇电子工艺技术
  • 1篇华中科技大学...
  • 1篇今天

年份

  • 6篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 7篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
  • 10篇2015
  • 8篇2013
共 47 条 记 录，以下是 1-10
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