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国家自然科学基金(60706028)
作品数:
1
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相关作者:
闫桂珍
杨振川
吕佳楠
陈敬
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相关机构:
北京大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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吕佳楠
供职机构:北京大学信息科学技术学院微米纳米加工技术国家重点实验室
研究主题:氮化镓 干法刻蚀 氮化镓材料 表面等离子体激元 MEMS
发表作品
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杨振川
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
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陈敬
供职机构:香港科技大学
研究主题:功率电子器件 功率电子 界面态 物理研究 栅介质
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所获资助
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闫桂珍
供职机构:北京大学
研究主题:锚点 微机械 微机械陀螺 陀螺 单片集成
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