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上海市科委重大科技攻关项目(02dz11020)

作品数：2 被引量：28H指数：2
相关作者：刘景全陈迪赵小林蔡炳初杨春生更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

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共 8 条 记 录，以下是 1-8
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景全
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 MEMS 微机电系统 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾盼
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 纳米压印 防粘连 表面能 RIE
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵小林
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙洪文
供职机构：河海大学物联网工程学院
研究主题：纳米压印 母板 纳米图案 微机电系统 微电子工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱军
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡炳初
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨春生
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 MEMS 微机电系统 压电 微针
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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