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国家高技术研究发展计划(2006AA032424)
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徐学俊
黄庆忠
陈少武
余和军
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陈少武
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 波导 刻蚀 硅基 电光调制器
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徐学俊
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电光调制器 硅基 双光子吸收 光开关 亚微米
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屠晓光
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:干法刻蚀技术 硅表面 光刻技术 纳米尺寸 微电子工艺
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余和军
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:波导 分束器 测量方法 SOI 光输出
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黄庆忠
供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室
研究主题:传输损耗 硅 SOI光波导 高速电光调制器 单模条件
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李运涛
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 芯片 衬底 生物芯片 波导
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余金中
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
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