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国家科技重大专项(2009ZX02005)
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巩岩
袁文全
郭抗
倪明阳
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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巩岩
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
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袁文全
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:投影物镜 光学元件 光刻物镜 镜框 调整装置
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郭抗
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 光刻物镜 轴向 投影光刻物镜
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供职机构
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倪明阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
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杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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向阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:成像光谱仪 波像差 横向剪切干涉仪 光学系统 空间光学
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刘春来
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:调整板 组件 调整架 水平仪 光学设计
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杨洪波
供职机构:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题:康复训练 有限元分析 有限元法 穿刺针 外骨骼
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孙振
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 轴向 投影光刻物镜 透镜
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赵磊
供职机构:大连理工大学
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
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