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国家自然科学基金(60776059)

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杨香
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张杨
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电子束曝光 高电子迁移率晶体管 生物传感器 锑化物 隔离层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王颖
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电子束曝光 大功率 版图 二维光子晶体 硅纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩伟华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：硅基 晶体管 纳米线 硅纳米线 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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