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国家自然科学基金(40974110)

作品数：16 被引量：78H指数：6
相关作者：巩岩赵阳赵磊刘壮张巍更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>

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地区

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共 12 条 记 录，以下是 1-10
巩岩
供职机构：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所
研究主题：光学元件 投影光刻物镜 投影物镜 光学设计 显微物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵阳
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学系统 投影物镜 微振动 柔性铰链 装调
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵磊
供职机构：大连理工大学
研究主题：光学元件 镜框 投影光刻物镜 像差 微动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘壮
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：成像光谱仪 全息 光学设计 极紫外 光学系统设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙振
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 镜框 轴向 投影光刻物镜 透镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王学亮
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：压电陶瓷 光学元件 压电陶瓷驱动器 投影光刻物镜 镜框
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张巍
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭海峰
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 投影光刻物镜 轴向 像差 支撑结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
华洋洋
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：镜框 光学元件 光学系统 镜片 物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘满林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：干涉仪 校正方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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