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天津市科技支撑计划(10ZCKFGX01200)

作品数：3 被引量：4H指数：2
相关作者：杨保和李翠平苏林王进张明伟更多>>
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领域

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主题

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  • 9个ALN
  • 9个磁控
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  • 8个ZNO
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  • 7个声表面波器件
  • 7个微结构
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  • 3个导电
  • 3个导热
  • 3个低热阻

机构

  • 12个天津理工大学
  • 4个天津大学
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  • 1个河北工业大学
  • 1个天津理工学院

资助

  • 12个天津市科技支...
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  • 10个天津市自然科...
  • 9个天津市科技计...
  • 6个国家高技术研...
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  • 2个国家教育部博...
  • 2个天津市科技发...
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  • 1个天津市教委基...
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  • 1个国家重点实验...
  • 1个教育部“新世...
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传媒

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地区

  • 12个天津市
共 12 条 记 录，以下是 1-10
杨保和
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石 金刚石膜 声表面波器件 金刚石薄膜 声表面波
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翠平
供职机构：天津理工大学
研究主题：石墨烯 声表面波 敏感膜 金刚石 声表面波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苏林
供职机构：天津理工大学
研究主题：压电薄膜 工科 磁控溅射 传感器 FBAR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张明伟
供职机构：天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室
研究主题：金刚石 ALN薄膜 基底 化学键 平均自由程
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱宇清
供职机构：天津理工大学
研究主题：机电耦合系数 声表面波器件 声表面波 表面粗糙度 SAW器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李翠萍
供职机构：天津理工大学
研究主题：FBAR ZNO PF 薄膜体声波谐振器 溅射功率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张庚宇
供职机构：天津理工大学
研究主题：ALN 叉指换能器 IDT 多层膜 声表面波器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹涛涛
供职机构：天津理工大学
研究主题：ALN 压电性能 射频磁控溅射 ALN薄膜 SAW器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
崔健
供职机构：天津理工大学
研究主题：金刚石 承包人 不平衡报价 风险分析 建筑市场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王进
供职机构：天津理工大学
研究主题：ALN 衬底温度 ALN薄膜 压电性能 压电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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