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国家科技重大专项(2009ZX02008-003)
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刘伟军
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王靖震
供职机构:中国科学院沈阳自动化研究所
研究主题:热板 烘焙 集成电路 晶圆 温度均匀性
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胡静涛
供职机构:中国科学院沈阳自动化研究所
研究主题:农机 异步电机 故障诊断 预测控制 集束型装备
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刘伟军
供职机构:沈阳工业大学
研究主题:激光 激光清洗 激光冲击强化 激光熔覆 激光快速成形
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郑秀红
供职机构:沈阳化工大学计算机科学与技术学院
研究主题:集束型装备 随机PETRI网 马尔可夫链 半导体 吞吐量
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王亮
供职机构:西安电子科技大学
研究主题:RTX 预测控制 LABWINDOWS/CVI 无人机 脑电信号
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魏猛
供职机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
研究主题:半导体晶片 涂胶 显影 晶片 晶圆
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