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上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划(03XD14005)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张妍妍周常河茹华一王顺权更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市卫生系统百名跨世纪优秀学科带头人培养计划国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

领域

  • 4个机械工程
  • 4个电子电信
  • 4个理学
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  • 1个生物学
  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
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  • 1个轻工技术与工...
  • 1个农业科学
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 4个等离子体
  • 4个等离子体密度
  • 4个衍射
  • 4个熔融
  • 4个熔融石英
  • 4个深刻蚀
  • 4个刻蚀
  • 4个刻蚀技术
  • 4个刻蚀速率
  • 4个各向异性刻蚀
  • 4个光学
  • 4个光学器件
  • 4个光栅
  • 4个光栅衍射
  • 3个入射
  • 3个脉冲
  • 3个纳米
  • 3个激光
  • 2个电子束直写
  • 1个带通

机构

  • 4个中国科学院上...
  • 1个中国科学院
  • 1个上海大学
  • 1个北京国科世纪...

资助

  • 4个上海市卫生系...
  • 4个国家杰出青年...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个“上海－应用...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个上海市青年科...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院重...

传媒

  • 4个激光与光电子...
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  • 4个2006年二...
  • 1个光电子．激光
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  • 1个量子电子学报
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  • 1个世界科学
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  • 1个中国科学基金
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  • 1个中国基础科学
  • 1个第四届全国微...
  • 1个2008介观...

地区

  • 4个上海市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
周常河
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
茹华一
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波长 光栅 纳米 偏振 感应耦合等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张妍妍
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射效率 波长 纳米 光栅 光刻工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王顺权
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：熔融 感应耦合等离子体 熔融石英 光栅 深刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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