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国家高技术研究发展计划(2006AA4Z326)
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刘瑞
汪红
丁桂甫
汤俊
李雪萍
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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刘瑞
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:微机电系统 MEMS 碳纳米管 场效应晶体管 功能化碳纳米管
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汤俊
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微机电系统 UV-LIGA 微电铸 电铸
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毛胜平
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微开关 微机电系统技术 双稳态 闭锁
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李雪萍
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 微拉伸 力学传感器 塑性变形 MEMS
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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陈晖
供职机构:上海交通大学
研究主题:有限元模拟 微电铸 杨氏模量 镍 UV-LIGA
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陈辉
供职机构:上海交通大学微纳科学技术研究院
研究主题:MEMS NI-W合金 NI 微机电系统 电沉积
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